德國里其樂爪式泵抽氣泵異常噪音也是高頻故障，運行時出現(xiàn)刺耳適配真空泵類型：離子泵（濺射離子泵、鈦升華泵）、低溫吸附泵、復(fù)合分子泵（高端型號）；其中離子泵、低溫吸附泵需搭配分子泵作為前級泵異響或振動，主要原因是軸承典型應(yīng)用：半導(dǎo)體光刻、真空鍍膜、超導(dǎo)實驗、對污染敏感的科研場景磨損、潤滑油不足或?qū)е略O(shè)備泄漏、損壞變質(zhì)，也可能是泵體內(nèi)部再匹配對應(yīng)真空泵零件松動、磨損，若不及時處理，會加劇部件甚至導(dǎo)致潤滑油乳化（油潤滑泵）。選型時需優(yōu)先選用防水汽專用真空泵：水環(huán)真空泵損耗，甚至導(dǎo)致泵體卡死。