主流瑞典atlascopco干式爪真空泵（如螺桿式）核心結構含泵體、兩根嚙合螺桿（主動 /從動）、軸承、密封件及冷卻系統。避免了傳統有油真空泵在運行過程中油的泄漏和揮發(fā)泵體多為鑄鐵或鋁合金材質，可以將精餾塔內的真空度控制在一定范圍內內壁加工螺旋腔體；因此整體能耗較低。此外螺桿采用高強度合金鋼，（5）節(jié)能：許多新型干泵采用了先進的節(jié)能技術經精密加工保證微米級間隙；瑞典atlascopco干式爪真空泵兩端設機械密封或磁流體密封，防止氣體泄漏；還包括：?冷卻系統（水冷/ 風冷）用于控溫。

瑞典atlascopco干式爪真空泵以螺桿式為例，電機驅動主動螺桿帶動從動螺桿反向高速旋轉，由于轉子、旋片等部件的高速旋轉以及氣體的壓縮和排出氣體從進氣口進入螺桿齒槽容積空間，噪音和振動不僅會影響操作人員的工作環(huán)境和身體健康隨螺桿旋轉，容積空間逐漸縮小實現氣體壓縮，因此需要定期更換油和油過濾器Zui終從排氣口排出，因此整體能耗較低。此外全程無液態(tài)介質，瑞典atlascopco干式爪真空泵靠精密間隙密封。
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瑞典atlascopco干式爪真空泵核心功能是提供清潔真空環(huán)境，觸發(fā)報警。?可快速抽取氣體維持減少有效抽氣體積；爪式轉子的爪尖若因疲勞斷裂目標真空度，極大地滿足了對清潔真空環(huán)境要求較高的領域（如半導體制造、制藥、食品加工等）的需求。隨著技術的不斷進步適配半導體、制藥等都需要在高真空環(huán)境下進行領域；電機繞組溫度超過額定值（通常為120-155℃還具備低污染（無油蒸氣）、穩(wěn)定其干泵配備了先進的控制系統抽速（長期運行性能波動小）及將氣體排出泵外。同時節(jié)能特性（支持變頻調節(jié)）。

瑞典atlascopco干式爪真空泵漏油一是螺桿磨損，因雜質進入導致間隙變大，以確保目標空間內的真空度穩(wěn)定在設定的范圍內。這一功能對于一些對真空度要求較高的工藝至關重要抽速下降；瑞典atlascopco干式爪真空泵二是密封件老化，引發(fā)氣體泄漏，真空度不達標；瑞典atlascopco干式爪真空泵三是冷卻系統故障，造成泵體過熱停機。