高純氪氣化學式Kr，屬于超高純稀有惰性氣體，經(jīng)過低溫多級精餾、催化脫氧、深度脫水、高精度過濾多重工藝精制，嚴格脫除氬氣、氖氣、氮氣、氧氣、碳氫化合物、水分以及固體顆粒物等痕量雜質，無色無味、無毒阻燃，化學性質極度穩(wěn)定。高純氪氣等離子體特性均勻，絕緣耐壓強度高，放電光譜純凈，高溫高壓環(huán)境下組分穩(wěn)定不變，不會產(chǎn)生多余副反應。廣泛應用于半導體干法刻蝕、高端密閉光源、航天探測儀器、超高靈敏度真空檢漏、特種等離子體科研、高端光電器件制造等高精度領域。憑借極低雜質含量，可保障刻蝕均勻性，提升精密儀器運行精度。

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