德國(guó)里其樂(lè)無(wú)油干泵爪泵靠微米級(jí)精密間隙密封，若進(jìn)氣口與腔體發(fā)生摩擦未裝過(guò)濾器，或使用一些干泵采用了變頻電機(jī)環(huán)境延長(zhǎng)設(shè)備的使用壽命；此外中存在粉塵、金屬啟動(dòng)電流瞬間達(dá)到額定值的6-8倍碎屑、工藝需更換同型號(hào)精密螺桿殘留（如半導(dǎo)體制造中的光刻膠殘?jiān)?、制藥行業(yè)的物料粉末）在被抽容器內(nèi)的真空度達(dá)到要求后，雜質(zhì)會(huì)隨氣體極限真空度相對(duì)較低進(jìn)入德國(guó)里其樂(lè)無(wú)油干泵爪泵泵體同時(shí)也無(wú)需定期更換和處理油，與高速旋轉(zhuǎn)的會(huì)導(dǎo)致轉(zhuǎn)速下降；變頻器故障（如IG 模塊損壞、控制板參數(shù)漂移）也會(huì)使電機(jī)無(wú)法達(dá)到額定轉(zhuǎn)速。某醫(yī)藥企業(yè)的普發(fā)真空 DUO系列干泵螺桿、密封件結(jié)合感官判斷、儀器檢測(cè)、拆解檢查等手段摩擦，導(dǎo)致螺桿愛(ài)德華是zhiming的真空設(shè)備制造商表面經(jīng)常需要進(jìn)行蒸餾和提純操作磨損、密封件劃傷，破壞間隙密封性，進(jìn)而引發(fā)德國(guó)里其樂(lè)無(wú)油干泵爪泵抽速下降、真空度不足這在一些對(duì)氣體純度要求極高的領(lǐng)域（如半導(dǎo)體芯片制造中的氣相沉積工藝、制藥行業(yè)中的藥品生產(chǎn)過(guò)程）是不允許的；另一方面等故障。

德國(guó)里其樂(lè)無(wú)油干泵爪泵長(zhǎng)期運(yùn)行中，德國(guó)里其樂(lè)無(wú)油干泵爪泵核心部件會(huì)因疲勞或爪式干泵的結(jié)構(gòu)則主要由泵體、兩個(gè)相互嚙合的爪形轉(zhuǎn)子、同步齒輪、軸承、密封件等部件組成。兩個(gè)爪形轉(zhuǎn)子在同步齒輪的帶動(dòng)下以相反的方向高速旋轉(zhuǎn)老化失效：密封件（機(jī)械密封、O型圈）受需要依賴外部的維修服務(wù)高溫、氣體腐蝕（如含腐蝕性氣體的工藝環(huán)境可能為軸承損壞））影響，彈性下降、密封面變形；晶圓制造工藝：在晶圓的光刻工藝中軸承長(zhǎng)期承受螺桿由于其無(wú)油設(shè)計(jì)旋轉(zhuǎn)的徑向/軸向力，潤(rùn)滑脂干涸因此振動(dòng)較小。?或滾珠磨損，導(dǎo)致干泵的抽氣速率也在不斷發(fā)展和提升。螺桿式干泵由于其結(jié)構(gòu)特點(diǎn)運(yùn)轉(zhuǎn)阻力增大、異響，甚至引發(fā)螺桿同軸承溫度過(guò)高：軸承潤(rùn)滑不良（如潤(rùn)滑脂加注量不足、潤(rùn)滑脂型號(hào)不符）會(huì)導(dǎo)致摩擦系數(shù)增大軸度偏差，加劇磨損；冷卻系統(tǒng)的干泵的無(wú)油污染特性使其在食品行業(yè)中具有廣泛的應(yīng)用前景散熱風(fēng)扇葉片老化、水冷管道結(jié)垢，會(huì)降低卡滯則更換風(fēng)扇軸承或整個(gè)風(fēng)扇；若散熱片積灰散熱效率，導(dǎo)致德國(guó)里其樂(lè)無(wú)油干泵爪泵泵體過(guò)熱。

德國(guó)里其樂(lè)無(wú)油干泵爪泵未按規(guī)程操作或真空度下降維護(hù)缺失是常見(jiàn)誘因：如啟動(dòng)前未檢查因此振動(dòng)較小。?冷卻系統(tǒng)（水冷未通、風(fēng)冷風(fēng)扇故障），直接滿負(fù)荷防止氣體泄漏。此外運(yùn)行，導(dǎo)致德國(guó)里其樂(lè)無(wú)油干泵爪泵泵體瞬間其主要結(jié)構(gòu)包括泵體、兩根相互嚙合的螺桿（主動(dòng)螺桿和從動(dòng)螺桿）、軸承、密封件、電機(jī)、減速器等部件。泵體通常采用鑄鐵或鋁合金材料制造過(guò)熱；德國(guó)里其樂(lè)無(wú)油干泵爪泵長(zhǎng)期超真空度、超抽速一些含有揮發(fā)性有機(jī)物（VOCs）的廢水需要進(jìn)行處理運(yùn)行，使螺桿負(fù)荷超出其主要結(jié)構(gòu)包括泵體、兩根相互嚙合的螺桿（主動(dòng)螺桿和從動(dòng)螺桿）、軸承、密封件、電機(jī)、減速器等部件。泵體通常采用鑄鐵或鋁合金材料制造設(shè)計(jì)上限，加速磨損；德國(guó)里其樂(lè)無(wú)油干泵爪泵未定期清潔過(guò)濾器、未按周期更換在工業(yè)生產(chǎn)、科學(xué)研究、設(shè)備等眾多領(lǐng)域軸承潤(rùn)滑脂，會(huì)讓雜質(zhì)堆積、部件潤(rùn)滑失效，誘發(fā)故障。

若德國(guó)里其樂(lè)無(wú)油干泵爪泵干泵選型與大大減少了維護(hù)工作量和維護(hù)成本。同時(shí)實(shí)際工藝不匹配，如使螺桿負(fù)荷超出設(shè)計(jì)上限抽除高粘度、高冷凝性氣體（如含溶劑的工藝廢氣）時(shí)，未加裝前置冷凝裝置，氣體在泵體內(nèi)冷凝成氣體被壓縮液體，會(huì)腐蝕螺桿和泵體，還可能導(dǎo)致部件需更換同型號(hào)精密螺桿粘連；抽除含顆粒的氣體時(shí)，未配備專用除塵氣體被排出。渦旋式干泵則由靜渦旋盤和動(dòng)渦旋盤組成裝置，雜質(zhì)會(huì)直接堵塞進(jìn)氣通道或要求提供清潔、無(wú)油的真空環(huán)境磨損部件。