電子工業(yè)用氦化學(xué)式He，專為半導(dǎo)體、微電子制程定制的超高純惰性氣體，化學(xué)性質(zhì)極度穩(wěn)定，高低溫工況下均不參與化學(xué)反應(yīng)，不會(huì)對(duì)晶圓、腔體材料造成侵蝕。采用低溫精餾、深度吸附、催化脫氧、精密過濾多級(jí)提純工藝，嚴(yán)格脫除氧氣、氮?dú)?、水汽、塵埃粒子、總碳?xì)浠衔锏扔泻﹄s質(zhì)，各項(xiàng)雜質(zhì)控制在ppb量級(jí)，完全契合電子工業(yè)嚴(yán)苛潔凈要求。常溫常壓下不可燃、不助燃、無毒無腐蝕性，安全可靠。電子工業(yè)專用氦氣原子半徑極小、導(dǎo)熱性能優(yōu)異、惰性極強(qiáng)，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體腔體吹掃、氣氛保護(hù)、真空置換、設(shè)備檢漏、晶圓制程冷卻。超高純凈度可避免腔體污染，防止晶圓表面產(chǎn)生顆粒缺陷、線路短路；優(yōu)異導(dǎo)熱性能快速帶走工藝熱量，保證刻蝕、沉積工序溫度恒定；極小的原子可穿透微米級(jí)縫隙，實(shí)現(xiàn)氦質(zhì)譜高精度檢漏，排查真空腔體細(xì)微泄漏。主要用于集成電路芯片制造、晶圓加工、面板顯示、光伏電池片制備、高端電子真空設(shè)備、半導(dǎo)體特種焊接等電子制造領(lǐng)域?？涛g與沉積工序中，電子級(jí)氦氣作為吹掃氣體置換腔體空氣，降低氧含量與水汽含量，提升芯片良品率；真空設(shè)備利用電子級(jí)氦氣檢漏，保障制程腔體高真空環(huán)境穩(wěn)定。

  氦氣本身無毒阻燃，大量泄漏易在低洼密閉空間積聚，擠占空氣造成缺氧窒息風(fēng)險(xiǎn)，氣瓶必須直立固定，遠(yuǎn)離地下室、密閉車間，車間保持強(qiáng)制通風(fēng)換氣。若氧、露點(diǎn)、顆粒物、碳?xì)潆s質(zhì)超標(biāo)，會(huì)造成晶圓表面缺陷、芯片漏電短路、真空腔體污染、設(shè)備故障率升高，直接降低芯片成品率，縮短昂貴半導(dǎo)體設(shè)備使用壽命。我司嚴(yán)格執(zhí)行電子工業(yè)用氦氣國家標(biāo)準(zhǔn)，針對(duì)氣體純度、氧含量、露點(diǎn)、塵埃粒子、總碳?xì)涞汝P(guān)鍵指標(biāo)開展高精度儀器檢測(cè)，出具具備法律效力的正規(guī)檢測(cè)報(bào)告，所有參數(shù)均滿足集成電路、顯示面板等電子行業(yè)工藝規(guī)范，可直接接入半導(dǎo)體生產(chǎn)線使用。

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