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CVD系統(tǒng)-產(chǎn)品介紹:
此款設備是一套化學氣相沉積生長系統(tǒng)，可包含加熱系統(tǒng)、控溫系統(tǒng)、滑動裝置、質(zhì)量氣體流量控制、真空控制系統(tǒng)、預加熱系統(tǒng)等模塊，根據(jù)工藝要求多模塊自由組合，并可擴展升級配置，節(jié)約成本。適用于多種經(jīng)典化學氣相沉積工藝。

CVD系統(tǒng)-產(chǎn)品用途:

可用于二維材料制備、石墨烯生長、TMDs材料制備、二硫化鉬制備、薄膜材料制備、氧化物薄膜、碳化物薄膜、氮化物薄膜、金剛石薄膜、金屬涂層、碳納米管生長、ZnO納米結構生長、新晶體材料、陶瓷纖維制備；陶瓷電容氣氛燒結、粉體材料氣氛燒結、非晶態(tài)合金生長。

產(chǎn)品組成：

此款CVD系統(tǒng)配置：
1.1200度開啟式真空管式爐(可選配滑動/雙管)
2.手動、電動滑動系統(tǒng)
3.多路質(zhì)量流量控制系統(tǒng)
4.真空控制系統(tǒng)(可選配中真空或高真空)

系統(tǒng)名稱	1200℃(含滑動式)單/多溫區(qū)CVD系統(tǒng)
系統(tǒng)型號	CVD-12I-3Z/G	CVD-12IIH-3Z/G	CVD-Y12IIH-3Z/G	CVD-12IIIH-3Z/G
Zui高溫度	1200℃
加熱區(qū)長度	420mm			655mm
恒溫區(qū)長度	200mm			500mm
溫區(qū)	單溫區(qū)	雙溫區(qū)		三溫區(qū)
石英管管徑	①50/Φ60/Φ80/Φ100mm
額定功率	3Kw	3.2Kw		4.8Kw
額定電壓	220V			380V
滑動距離	380mm(≥500)			500mm(≥800)
滑動方式	手動滑動/自動滑動(由溫度控制器自動控制移動。當程序完成，爐子按設定的速度滑動)
溫度控制	國產(chǎn)程序控溫系統(tǒng)50段程序控溫
控制精度	±1℃
長期工作溫度	≤1100℃
氣路法蘭	采用多環(huán)密封技術卡箍快速連接
排風冷卻裝置	先進的空氣隔熱技術，結合熱感應技術，當爐體表面溫升到50℃時，排溫風扇將自動啟動，使爐體表面快速降溫
氣體控制方式	質(zhì)量流量計(按鍵式)
氣路數(shù)量	1～3路(可根據(jù)具體需要選配氣路數(shù)量)
流量范圍	0-500sccm(標準毫升/分，可選配)氮氣標定
精度	±1%F.S
響應時間	1sec
工作溫度(流量計)	5-45℃
工作壓力	進氣壓力0.05-0.3Mpa(表壓力)
進氣方式	采用防倒流設計
規(guī)格	中真空		高真空
系統(tǒng)真空范圍	10-100Pa		10-1x10-3Pa
真空泵	雙極機械泵理論極限真空度3x10-1Pa,抽泣速率4L/S (選配：其它抽速真空泵),出氣口配有油霧過濾器，額定電壓220V,功率0.55Kw		真空分子泵理論極限真空度 5x10-6Pa,抽泣速率1200L/S(選配：其它抽速真空泵),出氣口配有油霧過濾器，額定電壓220V,功率2Kw	真空分子泵理論極限真空度 5x10-6Pa,抽泣速率1600L/S(選配：其它抽速真空泵),出氣口配有油霧過濾器，額定電壓220V,功率2Kw
爐體外形尺寸	360×580×555mm			360×815×555mm
系統(tǒng)外形尺寸	530×1440×750mm		530×1740×750mm	530×1740×750mm
系統(tǒng)總重量	230Kg		290Kg	330Kg

更新時間2026-10-31 07:48

天津中環(huán)電爐股份有限公司已認證

黃金會員: 第1年
統(tǒng)一社會信用代碼: 91120113700587236G
成立日期: 1998年10月15日
法定代表人: 張文祥
注冊資本: 1022

主營產(chǎn)品

馬弗爐，箱式爐，管式爐，高溫接觸角測量儀，高溫形變儀，CVD設備，PECVD設備，焦耳熱設備，水氧腐蝕裝置，真空釬焊爐，鐘罩爐，排膠爐

經(jīng)營范圍

實驗電爐、實驗室儀器制造；實驗分析儀器制造；工業(yè)電爐制造、銷售；機械設備、電氣設備維修；機械加工、玻璃儀器、機電產(chǎn)品、五金交電批發(fā)；鋼材銷售；...（以上經(jīng)營范圍涉及行業(yè)許可的憑許可證件，在有效期限內(nèi)經(jīng)營，國家有專項專營規(guī)定的按規(guī)定辦理）（依法須經(jīng)批準的項目，經(jīng)相關部門批準后方可開展經(jīng)營活動）

公司簡介

天津中環(huán)電爐股份有限公司成立于1993年，坐落于天津市北辰經(jīng)濟開發(fā)區(qū)，公司是集研發(fā)、制造、營銷于一體的生產(chǎn)制造型高新技術企業(yè)，以實驗室電爐、工業(yè)電爐及熱分析儀器為產(chǎn)品核心，其中實驗室電爐280余種，工業(yè)爐2大系列，熱分析類儀器30余種。在科研院所、知名高校和重點領域企業(yè)累計用戶上萬家。公司產(chǎn)品主要應用于金屬材料、特種陶瓷、復合材料、半導體、納米材料、碳纖維、石墨烯等新材料領域。2017年中環(huán)電爐成功登陸全國中小企業(yè)股份轉(zhuǎn)讓系統(tǒng)（證券代碼...

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