甲烷是無色無味的可燃氣體，經(jīng)過凈化提純后的高純度甲烷，嚴格脫除水分、二氧化碳、氧氣、重烴等雜質(zhì)，純度可達到電子級標準。甲烷易燃易爆，爆炸極限范圍較寬，化學性質(zhì)可作為還原氣體、反應(yīng)氣源。主要應(yīng)用于半導(dǎo)體工藝刻蝕、金剛石薄膜沉積、化工合成、標準氣體配制、熱處理還原氣氛利用等領(lǐng)域。電子行業(yè)高純甲烷是晶圓制造關(guān)鍵特種氣體，雜質(zhì)含量高低直接影響芯片良品率；工業(yè)領(lǐng)域可作為燃料及化工原料，參與各類有機合成反應(yīng)。

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