電子工業(yè)用氨氣含量分析 化驗(yàn)氨氣雜質(zhì)
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電子工業(yè)用氣體氨化學(xué)式NH3,屬于超高純電子特氣,經(jīng)過多級(jí)精餾、深度過濾、痕量雜質(zhì)脫除工藝精制,嚴(yán)格去除水分、氧氣、一氧化碳、二氧化碳、碳?xì)浠衔铩⒔饘匐x子及固體顆粒物等微量雜質(zhì),無色、具有刺激性氣味,化學(xué)性質(zhì)活潑,可作為氮源前驅(qū)體參與高溫氣相反應(yīng)。電子級(jí)氨氣氮源純度高、雜質(zhì)控制達(dá)到ppb甚至ppt級(jí)別,高溫工況下反應(yīng)均勻性好,組分穩(wěn)定,不會(huì)引入多余污染物破壞晶圓薄膜結(jié)構(gòu)。廣泛用于半導(dǎo)體CVD/ALD沉積氮化硅薄膜、LED氮化鎵外延生長(zhǎng)、光伏電池片鍍膜、顯示面板制造、集成電路刻蝕摻雜等微電子領(lǐng)域。利用其高純氮源屬性,作為MOCVD、PECVD工藝核心原料氣,直接決定外延片發(fā)光效率、芯片良品率與器件使用壽命。
深圳科洋檢驗(yàn)公司深耕第三方氣體檢測(cè)行業(yè)十余年,具有合格資質(zhì)和豐富經(jīng)驗(yàn),持有CMA資格證書。我司可按照GB/T14601-2009電子工業(yè)用氨國(guó)家標(biāo)準(zhǔn),對(duì)氨氣主純度、露點(diǎn)、氧含量、水分、總烴、金屬雜質(zhì)、顆粒物等指標(biāo)進(jìn)行專項(xiàng)檢測(cè),出具正規(guī)檢測(cè)報(bào)告,保障氣體品質(zhì)滿足半導(dǎo)體、光電等高精尖電子生產(chǎn)需求。公司同時(shí)擁有精密儀器和行業(yè)經(jīng)驗(yàn)豐富的實(shí)驗(yàn)人員、完善的保密機(jī)制、強(qiáng)大的后勤保障,給您一份精準(zhǔn)無誤的檢測(cè)報(bào)告和完美的服務(wù)!
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