HFE-7100 / 7200 / 7300都是氫氟醚（Hydrofluoroether）類電子級清洗/工程流體。它們共同特點是：ODP=0、不可燃、低表面張力、低殘留、對多數(shù)金屬/塑料兼容好，但純HFE 溶解力偏溫和（KB 值約 10），主要洗輕油、顆粒、氟油、硅油、松香/助焊劑輕殘留。

化學名	甲氧基九氟丁烷 C?F?OCH?	乙氧基九氟丁烷 C?F?OC?H?	甲氧基十氟戊烷類 C?F??OCH? / C?H?F??O
沸點	61 ℃	76 ℃	98 ℃
25℃密度	~1.52 g/mL	~1.43 g/mL	~1.66 g/mL
表面張力	13.6 mN/m	13.6 mN/m	~15 mN/m
粘度	Zui低（~0.38 cSt）	低（~0.40 cSt）	較高（~0.70 cSt）
蒸發(fā)速度	Zui快	中等	Zui慢
GWP（約）	297–320	55–59	200–210
水在溶劑中溶解度	~95 ppm	~92 ppm	~67 ppm（Zui“干”）
溶解力 KB	~10	~10	~10
暴露限值 TWA	750 ppm	200 ppm	—

氫氟醚HFE-7100：
沸點低、揮發(fā)快、粘度低、表面張力低，能鉆進 BGA 底部、MEMS 微縫、光學鏡片邊緣。
適合：晶圓/光學器件漂洗、PCB 輕殘留、氣相脫脂、水冼后脫水干燥、冷熱沖擊測試介質(zhì)。
缺點：開放工位揮發(fā)損耗大，環(huán)保上 GWP 比 7200 高。

氫氟醚HFE-7200：
沸點 76℃，蒸發(fā)損失比 7100 小，GWP Zui低（~55），材料兼容性很好。
適合：精密電子連續(xù)清洗、蒸汽脫脂、柔性板/功率模塊、PFPE 潤滑油涂布載體等。
氫氟醚HFE-7300：
98℃ 沸點，液相接觸時間長，水在溶劑里溶解度Zui低，適合水敏感器件和高溫浸泡/溫控。
適合：半導體設備冷卻兼清洗、航空航天精密件除油、高溫恒溫浴、IGBT/高功率器件測試。
缺點：粘度大、滲透性弱于 7100/7200，洗微縫不如前兩者。