山東安達(dá)化工科技有限公司總部位于山東省淄博市高新區(qū)齊魯電商谷。公司擁有危險(xiǎn)化學(xué)品經(jīng)營(yíng)許可證，具備規(guī)范的化工產(chǎn)品經(jīng)營(yíng)資質(zhì)。作為一家專注于精細(xì)化工產(chǎn)品流通的服務(wù)型公司，安達(dá)化工致力于為涂料、醫(yī)藥、農(nóng)藥、電子化學(xué)品、新能源材料等多個(gè)行業(yè)提供產(chǎn)品分銷與供應(yīng)鏈管理服務(wù)。
金屬離子＜0.5μg/g：電子級(jí)檸檬酸如何在硅片清洗中做到“絡(luò)合而不腐蝕”

電子級(jí)檸檬酸是一種金屬離子和無(wú)機(jī)陰離子含量很低的高純度檸檬酸，主要用于集成電路及電子元件加工領(lǐng)域中硅片清洗、基片濕法清洗、濕法蝕刻及去膠等環(huán)節(jié)-。其金屬離子含量要求控制在0.5μg/g以下，重金屬＜0.1μg/g，Cl?和SO?2?均控制在1μg/g以下，檸檬酸含量≥99.5%-。

山東安達(dá)化工科技有限公司的電子級(jí)檸檬酸（一水）產(chǎn)品，面向超大規(guī)模集成電路和大屏幕液晶顯示器等微電子工業(yè)的化學(xué)刻蝕和化學(xué)清洗應(yīng)用。檸檬酸含有羥基，在電離后對(duì)金屬離子有較強(qiáng)的絡(luò)合作用，是Co基Cu互連CMP及后清洗中的主要絡(luò)合劑-。

在硅片清洗中，電子級(jí)檸檬酸用于基片在涂膠前的濕法清洗。硅圓片在工藝加工過(guò)程中常被不同雜質(zhì)沾污，各種沾污可導(dǎo)致IC產(chǎn)率下降約50%，檸檬酸清洗液能夠幫助去除這些雜質(zhì)-。在CMP后清洗中，檸檬酸對(duì)Cu/Co去除速率選擇比、Co的表面形貌及Co表面殘留去除均有影響-。

山東安達(dá)在電子級(jí)檸檬酸的生產(chǎn)中采用離子交換、濃縮、精密過(guò)濾、結(jié)晶等組合工藝，對(duì)金屬離子和無(wú)機(jī)陰離子進(jìn)行深度脫除，產(chǎn)品指標(biāo)滿足微電子工業(yè)對(duì)高純度有機(jī)酸的要求。