電子級(jí)磷酸檢測(cè) 易氧化物 鋁 砷 金 銀 硼 鋇 鎘 鈷 鉻 銅 鐵 鎵 鉀 鋰 GB/T28159-歐美日韓一區(qū)二區(qū)三區(qū)精品視頻在線,伴郎規(guī)則
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電子級(jí)磷酸檢測(cè) 易氧化物 鋁 砷 金 銀 硼 鋇 鎘 鈷 鉻 銅 鐵 鎵 鉀 鋰 GB/T28159
標(biāo)準(zhǔn)版本：GB/T 28159?2011《電子級(jí)磷酸》，產(chǎn)品分E1（普通電子級(jí)）、E2（高純電子級(jí)）兩個(gè)等級(jí)。檢測(cè)清單：易氧化物、鋁、砷、金、銀、硼、鋇、鎘、鈷、鉻、銅、鐵、鎵、鉀、鋰。
E1：≤0.005 %
E2：≤0.001 %
試驗(yàn)方法：鈰氧化?亞鐵銨滴定法（標(biāo)準(zhǔn) 5.5）全國(guó)標(biāo)準(zhǔn)信...。
表格
元素E1 (普通電子級(jí))E2 (高純電子級(jí))檢測(cè)手段| Al 鋁 | ≤200 | ≤50 | ICP?MS |
| As 砷 | ≤100 | ≤20 | ICP?MS |
| Au 金 | ? | ? | ICP?MS（標(biāo)準(zhǔn)無(wú)強(qiáng)制限值，客戶加測(cè)） |
| Ag 銀 | ? | ? | ICP?MS（標(biāo)準(zhǔn)無(wú)強(qiáng)制限值，客戶加測(cè)） |
| B 硼 | 無(wú)指標(biāo) | ≤50 | ICP?MS |
| Ba 鋇 | ≤100 | ≤20 | ICP?MS |
| Cd 鎘 | ≤100 | ≤20 | ICP?MS |
| Co 鈷 | ≤100 | ≤20 | ICP?MS |
| Cr 鉻 | ≤100 | ≤20 | ICP?MS |
| Cu 銅 | ≤50 | ≤20 | ICP?MS |
| Fe 鐵 | ≤300 | ≤50 | ICP?MS |
| Ga 鎵 | ? | ? | ICP?MS（標(biāo)準(zhǔn)無(wú)強(qiáng)制限值，客戶加測(cè)） |
| K 鉀 | ? | ? | ICP?MS（標(biāo)準(zhǔn)無(wú)強(qiáng)制限值，客戶加測(cè)） |
| Li 鋰 | ? | ? | ICP?MS（標(biāo)準(zhǔn)無(wú)強(qiáng)制限值，客戶加測(cè)） |
說(shuō)明：金 Au、銀 Ag、鎵 Ga、鉀 K、鋰 Li在 2011版國(guó)標(biāo)文本沒(méi)有給出強(qiáng)制限值，屬于半導(dǎo)體用戶額外要求的痕量雜質(zhì)，采用ICP?MS電感耦合等離子體質(zhì)譜法測(cè)試，CMA/CNAS 實(shí)驗(yàn)室可做委托檢測(cè)。
金屬離子全部采用ICP?MS，必須使用超純?cè)噭?、PTFE器皿，全程防污染，樣品直接稀釋進(jìn)樣，不可以普通 ICP?OES 做 ppb 級(jí)判定Chinese St...。
易氧化物為化學(xué)滴定，需同步做空白，環(huán)境不能帶入還原性氣體干擾結(jié)果。
新版 GB/T28159?2025 升級(jí)為 E1/E2/E3 三檔，E3 面向 12 英寸晶圓，金屬指標(biāo)嚴(yán)苛到個(gè)位數(shù)μg/kg，若做高端半導(dǎo)體建議確認(rèn)執(zhí)行版本。
樣品信息、執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn) GB/T28159?2011
易氧化物測(cè)試結(jié)果（%）
14 項(xiàng)元素測(cè)試結(jié)果（μg/kg）
判定：E1/E2 等級(jí)符合性（Au/Ag/Ga/K/Li 只報(bào)實(shí)測(cè)值，無(wú)國(guó)標(biāo)判定）
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許可項(xiàng)目：檢驗(yàn)檢測(cè)服務(wù)；認(rèn)證服務(wù)；接受司法機(jī)構(gòu)委托開展專業(yè)鑒定服務(wù)；農(nóng)產(chǎn)品質(zhì)量安全檢測(cè)；建設(shè)工程質(zhì)量檢測(cè)；雷電防護(hù)裝置檢測(cè)；室內(nèi)環(huán)境檢測(cè)；安全生產(chǎn)檢驗(yàn)檢測(cè)；民用航空油料檢測(cè)服務(wù)（依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營(yíng)活動(dòng)，具體經(jīng)營(yíng)項(xiàng)目以相關(guān)部門批準(zhǔn)文件或許可證件為準(zhǔn)）一般項(xiàng)目：環(huán)境保護(hù)監(jiān)測(cè)；計(jì)量技術(shù)服務(wù)；進(jìn)出口商品檢驗(yàn)鑒定；服裝、服飾檢驗(yàn)、整理服務(wù)
為華檢測(cè)集團(tuán)是一家專業(yè)的第三方檢測(cè)公司，是以科研檢測(cè)為主的科學(xué)技術(shù)研究機(jī)構(gòu)，我們竭誠(chéng)為您提供一站式科研、測(cè)試、檢驗(yàn)、分析及技術(shù)服務(wù)。堅(jiān)持以市場(chǎng)需求為導(dǎo)向，滿足用戶在研發(fā)創(chuàng)新、質(zhì)量升級(jí)、節(jié)能減排、工藝改善等多層面的個(gè)性化綜合性科技服務(wù)需求。為華檢測(cè)設(shè)有材料實(shí)驗(yàn)室、生物實(shí)驗(yàn)室、化學(xué)實(shí)驗(yàn)室、能源實(shí)驗(yàn)室、物理實(shí)驗(yàn)室、微生物實(shí)驗(yàn)室、電光學(xué)實(shí)驗(yàn)室等，能夠?qū)z測(cè)樣品進(jìn)行全面檢測(cè)。業(yè)務(wù)范圍覆蓋環(huán)境、食品保健品、醫(yī)療器械、金屬礦石、精細(xì)化工、建筑材料等多...