卡盤定制系統(tǒng)卡盤類型GY-CP-8HCVGY-CP-12HCVGY-CP-S配套ChillerGY-PCH-803
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GY-PCH-8010W溫度范圍-45℃-200℃-55℃-200℃-45℃-200℃-55℃-200℃-65℃-200℃-65℃-200℃Chiller電源380 VAC ± 10%，三相(可定制)Chiller總功率8.5kW12.5kW8.5kW12.5kW27.5kW27.5kW配套控溫模組DX-CHUCK-3溫度均勻性土0.5℃Chuck加熱能力[email protected]@DC120V3KW@DC48VChuck表面處理鍍鎳/鍍金控溫方式內(nèi)置多個溫度傳感器，多區(qū)控溫，jingquePID調(diào)節(jié)控溫如有其他需求，可非標(biāo)定制

三溫卡盤chiller是半導(dǎo)體制造與測試領(lǐng)域的高精度溫控設(shè)備，由無錫冠亞恒溫研發(fā)生產(chǎn)，專為晶圓三溫測試、光刻、刻蝕等工藝設(shè)計(jì)，通過三溫區(qū)獨(dú)立控溫與閉環(huán)制冷循環(huán)，實(shí)現(xiàn)晶圓表面差異化溫度準(zhǔn)確調(diào)控，為芯片制造提供穩(wěn)定溫度環(huán)境。

三溫卡盤chiller工作原理

該設(shè)備由精密液冷機(jī)（chiller）、三溫卡盤（chuck）、干燥單元及控制柜組成完整閉環(huán)系統(tǒng)。chiller基于壓縮式制冷循環(huán)，通過制冷劑相變實(shí)現(xiàn)熱量轉(zhuǎn)移；三溫卡盤采用分區(qū)溫控設(shè)計(jì)，三個溫區(qū)獨(dú)立配置加熱與制冷模塊，搭配高精度PT100鉑電阻實(shí)時采集溫度數(shù)據(jù)，經(jīng)自適應(yīng)PID+模糊控制算法動態(tài)調(diào)節(jié)，確保各溫區(qū)準(zhǔn)確達(dá)設(shè)定值。

三溫卡盤chiller技術(shù)特點(diǎn)

1. 三溫區(qū)獨(dú)立調(diào)控：支持不同溫區(qū)差異化溫度設(shè)置，適配晶圓多區(qū)域工藝需求

2. 高精度控溫：控溫精度可達(dá)±0.5℃，溫場均勻性優(yōu)異，減少溫度漂移影響

3. 全密閉循環(huán)：采用磁力驅(qū)動泵，無泄漏風(fēng)險，內(nèi)置過濾干燥系統(tǒng)保障介質(zhì)潔凈

三溫卡盤chiller主要應(yīng)用場景

廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓制造、集成電路測試、先進(jìn)封裝等領(lǐng)域，尤其適用于芯片測試（FT）中的三溫測試環(huán)節(jié)，以及光刻膠涂布、CMP拋光等對溫度敏感的工藝，幫助提升芯片良品率與測試數(shù)據(jù)準(zhǔn)確性。

無錫冠亞恒溫專注工業(yè)溫控設(shè)備研發(fā)生產(chǎn)，三溫卡盤chiller可根據(jù)客戶工藝需求定制，提供從方案設(shè)計(jì)到售后維護(hù)的全流程服務(wù)，助力半導(dǎo)體企業(yè)提升生產(chǎn)效率與產(chǎn)品質(zhì)量。