氧化釔|氣體分布板與噴淋頭|熱噴涂氧化釔耐蝕涂層-高潮迭起AV乳顏射后入,七咲楓花全集メイリン モデルコレクション メ
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- 品牌
- 氧化釔稀土
- 型號(hào)
- 高純度氧化釔
- 產(chǎn)地
- 國(guó)產(chǎn)和進(jìn)口
【產(chǎn)品概述】
氣體分布板（Showerhead）與噴淋頭負(fù)責(zé)將工藝氣體均勻?qū)敕磻?yīng)腔，其微孔結(jié)構(gòu)與下表面直接暴露于高密度等離子體中，極易因腐蝕導(dǎo)致孔徑變大、氣流分布不均，進(jìn)而影響刻蝕均勻性。我司提供的氣體分布板氧化釔涂層方案，有效解決這一痛點(diǎn)。
【核心技術(shù)優(yōu)勢(shì)】
微孔精密防護(hù)：熱噴涂工藝可精準(zhǔn)控制涂層厚度，在保護(hù)孔壁的同時(shí)確保氣孔不堵塞，維持氣體流場(chǎng)的均勻性。
抗化學(xué)與物理雙重侵蝕：氧化釔涂層同時(shí)抵御活性自由基的化學(xué)腐蝕與高能離子的物理濺射，保持孔徑尺寸長(zhǎng)期穩(wěn)定。
低副產(chǎn)物沉積：光滑致密的涂層表面減少了刻蝕副產(chǎn)物的粘附，降低了清洗頻率，提升了設(shè)備稼動(dòng)率。
【應(yīng)用場(chǎng)景】
刻蝕機(jī)、CVD設(shè)備的氣體分布板、噴淋頭、氣體注入器。
【技術(shù)參數(shù)參考】
涂層材料：高純氧化釔（Y?O?）
涂層均勻性：厚度偏差 < ±5%
耐溫性能：適應(yīng)頻繁熱循環(huán)（室溫至400℃+）
顆?？刂疲簼M足先進(jìn)制程（14nm及以下）要求
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昆山照動(dòng)貿(mào)易有限責(zé)任公司是經(jīng)營(yíng)進(jìn)出口貿(mào)易的貿(mào)易公司，開(kāi)展國(guó)內(nèi)外貿(mào)易，合作生產(chǎn)，轉(zhuǎn)口貿(mào)易等方式的經(jīng)營(yíng)業(yè)務(wù)，成立于2012年3月。目前是日本B&PLUS公司在中國(guó)區(qū)的一級(jí)代理商，主要經(jīng)營(yíng)denka代理商，denka碳黑，氧化釔，稀土氧化釔噴粉，半導(dǎo)體氧化釔稀土，氧化釔噴粉，高純氧化釔，等離子氧化釔噴涂，DENKA球形氧化鋁，氧化釔陶瓷粉，半導(dǎo)體氧化釔粉，熱噴涂氧化釔粉，高純氧化釔粉末，氧化釔噴涂粉體，等離子噴涂氧化釔陶瓷粉，超音速噴涂氧化釔...