產品說明：

iXH 干式工業(yè)級真空泵系統(tǒng)

iXH 系列干泵產品是 Edwards 的 iH 產品的換代升級，為嚴苛制程能力 樹立了新標準，它在世界上的許多 300mm 半導體和平板 工廠內通過提高制程可靠性實現(xiàn)低擁有成本。

產品用途：

可滿足 FPD、太陽能、 半導體和 LED 制造業(yè)中日益提高的氣體流量要求的 完美大容量干泵和增壓泵系列。 除了具有高峰值抽取速度外，這些泵還配備多種特性 以確保在嚴苛制程中具有Zui大可靠性。

iXH 泵采用模塊化設計，符合當今的制程要求，并且對于前沿工廠中不斷涌現(xiàn)的應用挑戰(zhàn)有著路線明確的應對計劃。