半導(dǎo)體特種氣體是半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的關(guān)鍵工藝用氣，其混合組分配比直接影響半導(dǎo)體器件的性能與良率。該檢測圍繞半導(dǎo)體用特種氣體及混合氣體展開，針對氣體的配比精度、純度等核心參數(shù)開展測試，保障氣體組分符合半導(dǎo)體制程嚴(yán)苛要求。由于半導(dǎo)體制程對氣體參數(shù)的高標(biāo)準(zhǔn)要求，精準(zhǔn)的組分配比檢測是確保工藝穩(wěn)定性、提升產(chǎn)品可靠性的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，可有效規(guī)避生產(chǎn)風(fēng)險(xiǎn)，滿足半導(dǎo)體行業(yè)對特種氣體的質(zhì)量管控需求。
檢測流程：
1、溝通檢測需求；2、寄樣或上門取樣；3、樣品初步分析；4、實(shí)驗(yàn)檢測；5、報(bào)告編制與審核；6、出具檢測報(bào)告
檢測周期與費(fèi)用：
到樣后5-7個工作日（可加急），具體費(fèi)用根據(jù)檢測項(xiàng)目和方法與專業(yè)工程師對接報(bào)價(jià)
檢測范圍：
半導(dǎo)體特種混合氣、高純氣體、電子級混合氣體、半導(dǎo)體工藝特種氣體、晶圓制造用特種氣體、芯片制程專用氣體、半導(dǎo)體摻雜氣體、外延生長用特種氣體、離子注入用特種氣體、半導(dǎo)體封裝輔助氣體
檢測標(biāo)準(zhǔn)參考：
1、GB/T 37141 電子工業(yè)用氣體
2、GB/T 28878 電子級氣體中痕量雜質(zhì)的測定
3、GB/T 1550 半導(dǎo)體材料電阻率測試方法
4、SJ/T 11281 電子工業(yè)用特種氣體包裝規(guī)范
上海復(fù)達(dá)檢測技術(shù)集團(tuán)專注于分析、測試、檢測、鑒定、研發(fā)五大服務(wù)領(lǐng)域，CMA、CNAS 等檢測資質(zhì)完善。全國開設(shè)20多家分公司，各地建立實(shí)驗(yàn)室，工程師一對一咨詢，寄樣或上門任您選擇，為您提供便利的檢測服務(wù)。
復(fù)達(dá)檢測的優(yōu)勢：
儀器設(shè)備：
500余臺（套）專業(yè)儀器設(shè)備，包括紅外光譜（IR）、核磁共振（NMR）、電感耦合等離子體發(fā)射光譜儀（ICP）、電感耦合等離子體發(fā)射質(zhì)譜儀（ICP-MS）、液相二級質(zhì)譜（LC-MS-MS）、氣相色譜-質(zhì)譜聯(lián)用儀（GC-MS）、高效液相色譜（HPLC）、氣相色譜儀（GC）、X射線熒光光譜(XRF)、ASE快速溶劑萃取儀等；
資質(zhì)認(rèn)可：
獲得中國合格評定國家認(rèn)可委員會頒發(fā)的實(shí)驗(yàn)室認(rèn)可證書（CNAS）、質(zhì)量技術(shù)監(jiān)督局頒發(fā)的檢驗(yàn)檢測機(jī)構(gòu)資質(zhì)認(rèn)定證書（CMA）。
服務(wù)客戶：
累計(jì)為公檢法單位、高校及科研機(jī)構(gòu)、企業(yè)等超過10萬家客戶提供咨詢、分析、檢測、測試、鑒定研發(fā)等技術(shù)服務(wù)。
檢測項(xiàng)目：
氣體組分含量、混合比例精度、純度等級、雜質(zhì)含量、水分含量、氧含量、總烴含量、顆粒度等級、腐蝕性、穩(wěn)定性、均勻性、氣相雜質(zhì)含量