*** 源瓶（起泡器）用于固態(tài)、液態(tài)及氣態(tài)超純物料類的封裝，涉及微正壓、

常壓、中低壓的危險化學品，所以對源瓶的安全性和潔凈度提出嚴苛的要

求。

*** 源瓶特點：

1、所有管件采用316L不銹鋼，內(nèi)部經(jīng)400目機械拋光和電化學拋光，Ra≦0.25微米；

2、閥門有美國世偉洛克球閥和隔膜閥、日本富士金隔膜閥和韓國TK隔膜閥供選擇；

3、密封墊片選用純銀鍍鎳墊片；

4、氦質(zhì)譜檢測泄漏率≦1.0*10-10mbar L/s；

5、可盛裝化學品純度≧99.9995;

6、總殘余元素量≦50PPb；

7、墜落試驗，通過國家商檢部門檢測；

8、介質(zhì)，TMG\TEG\TMA\TMIN\DEE等；

9、可選擇氣動閥門或者實現(xiàn)在注入端子、輸出端子以及接口之間的交叉清掃處理等；

10、可提供非標定做。