三氯硅烷（Trichlorosilane），CAS10025-78-2，分子式SiHCl?，分子量 135.45，是一種無色至淡黃色透明液體，具有刺激性氣味。其熔點約 -128°C，沸點約 31.8°C，密度約 1.34g/cm3，閃點約 -13°C，屬于易燃、遇濕自燃、腐蝕性液體（極端危險品）。

該產(chǎn)品的核心賣點在于“多晶硅核心原料”與“高效硅烷化試劑”。在光伏/半導(dǎo)體中，用于西門子法生產(chǎn)高純多晶硅；在化工中，用于合成有機(jī)硅單體、氣相沉積SiO?。

 基礎(chǔ)信息

中文名：三氯硅烷

英文名：Trichlorosilane

別名：硅氯仿

CAS號：10025-78-2

分子式：SiHCl?

分子量：135.45

 物理化學(xué)性質(zhì)

 主要用途

多晶硅原料 (核心應(yīng)用)：通過西門子法或流化床法的化學(xué)氣相沉積，是生產(chǎn)太陽能級和電子級高純多晶硅的Zui關(guān)鍵中間體。其純度直接決定Zui終多晶硅的質(zhì)量。

有機(jī)硅單體：用于生產(chǎn)烷基氯硅烷、硅烷偶聯(lián)劑、有機(jī)硅樹脂、硅油、硅橡膠，是有機(jī)硅工業(yè)的基石。

外延沉積：在半導(dǎo)體工業(yè)中，用于氣相外延生長硅、氮化硅、碳化硅薄膜。

 安全與儲存

危險性：劇毒，吸入、攝入或經(jīng)皮膚吸收可致命。蒸氣對呼吸道有極強(qiáng)刺激和窒息性。遇水劇烈反應(yīng)，釋放大量熱和劇毒、強(qiáng)腐蝕性的氯化氫濃煙，可能引發(fā)爆炸。暴露在空氣中能自燃。蒸氣與空氣混合形成爆炸性混合物，遇明火、高熱、靜電極易爆炸。是Zuigaoji別的危險化學(xué)品。

儲存：嚴(yán)格密封于耐壓、干燥、充氮的專用鋼瓶中，儲存于陰涼、干燥、通風(fēng)的防爆庫房，庫溫不宜超過25℃。juedui防水、防潮、隔絕空氣。嚴(yán)禁與氧化劑、酸、堿、醇、胺混儲。雙人雙鎖、遠(yuǎn)程監(jiān)控。

操作防護(hù)：必須在專用負(fù)壓通風(fēng)櫥、惰性氣氛保護(hù)或密閉系統(tǒng)中，佩戴自給式呼吸器、全封閉防化服、耐低溫耐酸手套和面罩操作。嚴(yán)禁煙火、靜電。嚴(yán)禁單獨操作。

 注意事項

操作鐵律：juedui的無水無氧操作。系統(tǒng)必須用干燥惰性氣體徹底置換。所有設(shè)備必須接地，使用防爆電器。

泄漏處理：立即啟動Zuigaoji別應(yīng)急響應(yīng)。疏散所有人員至上風(fēng)處。應(yīng)急人員必須Zuigaoji別防護(hù)。在可控和防護(hù)下，用干燥沙土或其他不燃性材料覆蓋泄漏點。嚴(yán)禁用水、泡沫、酸堿滅火劑。在專業(yè)人員指導(dǎo)下，用專用吸收劑或大量干燥的石灰、碳酸鈉緩慢中和。廢物按劇毒危廢處置。

滅火：若著火，用干粉、干燥沙土、二氧化碳滅火。嚴(yán)禁用水。

系統(tǒng)安全：生產(chǎn)、儲存和輸送系統(tǒng)必須配備自動泄漏檢測、噴淋稀釋、緊急隔離和火炬焚燒裝置。