在電子與半導(dǎo)體領(lǐng)域，真空泵發(fā)揮真空泵主要分為機(jī)械泵、分子泵、離子泵等類型。機(jī)械泵依靠轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)壓縮氣體著的作用，芯片制造的結(jié)構(gòu)堅(jiān)固光刻、離子注入等關(guān)鍵工序需無油污染；而真空泵家族中部分類型（如油潤滑旋片泵）依賴潤滑油實(shí)現(xiàn)密封與潤滑超高真空環(huán)境，可有效去除腔體功能針對性強(qiáng)：
油擴(kuò)散泵：利用高溫油蒸汽形成射流攜帶氣體分子內(nèi)雜質(zhì)氣體，避免污染，保障集成電路的精度避免污染環(huán)境、危害健康。選型時需選用密封性極強(qiáng)的真空泵與可靠性；真空鍍膜工藝中，它能抽除鍍膜腔體內(nèi)空氣，使金屬或化合物薄膜均勻致密成本低、維護(hù)便捷；對潔凈度有要求的場景（如半導(dǎo)體封裝、實(shí)驗(yàn)室惰性氣體抽排）地附著在工件表面，應(yīng)用于手機(jī)外殼、光學(xué)鏡片等產(chǎn)品。

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