六甲基二硅氮烷（Hexamethyldisilazane，HMDS），CAS999-97-3，分子式C?H??NSi?，分子量 161.40，是一種無色透明液體，具有氨樣刺激性氣味。其熔點(diǎn)約 -78°C，沸點(diǎn)約 125-126°C，密度約 0.77g/cm3，閃點(diǎn)約 28°C，屬于易燃、腐蝕性液體（危險(xiǎn)品）。

該產(chǎn)品的核心賣點(diǎn)在于“高效硅烷化試劑”與“強(qiáng)堿性”。在有機(jī)合成中，用于保護(hù)羥基、氨基等官能團(tuán)，或作為強(qiáng)堿參與反應(yīng)；在半導(dǎo)體工業(yè)中，作為光刻膠助粘劑，增強(qiáng)附著力；在氣相色譜中，用于衍生化處理。

 基礎(chǔ)信息

中文名：六甲基二硅氮烷

英文名：Hexamethyldisilazane

別名：HMDS、六甲基二硅胺烷

CAS號(hào)：999-97-3

分子式：C?H??NSi?

分子量：161.39

 物理化學(xué)性質(zhì)

外觀：無色透明液體，有強(qiáng)烈的氨味。

沸點(diǎn)：125℃。

熔點(diǎn)：-78℃。

密度：0.77 g/mL (20℃)。

溶解性：與水劇烈反應(yīng)，與醇、、苯、氯仿、石油等多數(shù)有機(jī)溶劑混溶。

特性：具有強(qiáng)堿性和高反應(yīng)活性。是高效的硅烷化試劑，用于保護(hù)羥基、氨基等活性基團(tuán)。對(duì)濕氣極其敏感，遇水迅速水解生成六甲基二硅氧烷和氨。

 主要用途

硅烷化試劑：在氣相色譜中用作衍生化試劑，將極性化合物（如醇、酚、酸、胺）轉(zhuǎn)化為易揮發(fā)的硅衍生物，以便分析。是藥物、農(nóng)藥、食品分析的關(guān)鍵前處理試劑。

半導(dǎo)體與電子：在芯片制造中用作光刻膠的助粘劑（增粘劑），增強(qiáng)光刻膠與硅片表面的附著力。也用于CVD工藝。

有機(jī)合成：作為強(qiáng)堿、脫水劑和硅基保護(hù)基引入試劑，廣泛用于復(fù)雜天然產(chǎn)物和藥物分子的合成。

硅橡膠：用作硅橡膠的結(jié)構(gòu)控制劑，調(diào)節(jié)生膠的結(jié)構(gòu)和性能。

 安全與儲(chǔ)存

危險(xiǎn)性：易燃，閃點(diǎn)約 28℃。遇濕易燃，遇水劇烈反應(yīng)釋放氨氣和可燃的六甲基二硅氧烷。強(qiáng)腐蝕性，對(duì)眼睛、皮膚和呼吸道有強(qiáng)烈刺激性和腐蝕性。蒸氣對(duì)黏膜有強(qiáng)刺激性。

儲(chǔ)存：嚴(yán)格密封，充氮保護(hù)，儲(chǔ)存于陰涼、干燥、通風(fēng)的庫房，遠(yuǎn)離火種、熱源。庫溫不宜超過30℃。嚴(yán)禁與氧化劑、酸類、水、醇類等接觸。

操作防護(hù)：必須在通風(fēng)櫥內(nèi)，佩戴全面罩防毒面具、耐化學(xué)品手套、防護(hù)眼鏡和防化服。

 注意事項(xiàng)

操作鐵律：juedui防水、防潮。所有操作必須在無水條件下進(jìn)行，器皿必須徹底干燥。

泄漏處理：嚴(yán)禁用水！應(yīng)立即用干燥沙土或惰性材料吸附，在通風(fēng)櫥內(nèi)小心收集，可用異丙醇小心淬滅，再按危險(xiǎn)廢物處置。

運(yùn)輸：屬于易燃液體和腐蝕性物品，需按危險(xiǎn)化學(xué)品運(yùn)輸規(guī)定執(zhí)行。