硅晶圓檢測(cè)是電子、半導(dǎo)體領(lǐng)域關(guān)鍵的半導(dǎo)體材料測(cè)試，直接關(guān)系芯片性能與生產(chǎn)良率。作為集成電路的核心基材，純度不足影響芯片性能，平整度差導(dǎo)致光刻失效，在半導(dǎo)體制造、電子設(shè)備、芯片研發(fā)等領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。精準(zhǔn)檢測(cè)為硅晶圓生產(chǎn)與半導(dǎo)體芯片制造提供依據(jù)，是保障半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展的核心環(huán)節(jié)。

【檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)】

GB/T 12963-2019 硅單晶

GB/T 15501-2018 超導(dǎo)材料 術(shù)語(yǔ)

GB/T 6682-2008 分析實(shí)驗(yàn)室用水規(guī)格和試驗(yàn)方法

ISO 6353-1-1982 化學(xué)分析試劑 第 1 部分：通用試驗(yàn)方法

GB/T束分析 能譜法定量分析

GB/T 13298-2015 金屬顯微組織檢驗(yàn)方法

ISO 10110-1-2007 光學(xué)和光子學(xué) 光學(xué)元件和系統(tǒng)的圖形標(biāo)注 第 1 部分：總則、定義、標(biāo)注原則和簡(jiǎn)化規(guī)則

GB/T 2423.1-2008 電工電子產(chǎn)品環(huán)境試驗(yàn) 第 2 部分：試驗(yàn)方法

【檢測(cè)范圍】

電子領(lǐng)域：半導(dǎo)體芯片、集成電路制造用硅晶圓

半導(dǎo)體領(lǐng)域：半導(dǎo)體器件、傳感器生產(chǎn)用硅晶圓

科研領(lǐng)域：新型芯片材料、半導(dǎo)體技術(shù)研發(fā)用硅晶圓

工業(yè)領(lǐng)域：電子設(shè)備核心部件制造用硅晶圓

【檢測(cè)項(xiàng)目】

純度、平整度、厚度均勻性、表面粗糙度、電阻率、缺陷密度、外觀質(zhì)量、環(huán)保指標(biāo)、尺寸精度、晶格完整性、穩(wěn)定性

【檢測(cè)設(shè)備】

激光干涉儀、顯微鏡、電阻率測(cè)試儀、厚度測(cè)厚儀、表面粗糙度儀、電子天平、光譜分析儀

清析技術(shù)研究院可提供分析、檢測(cè)、測(cè)試、鑒定、研發(fā)等技術(shù)服務(wù)，服務(wù)領(lǐng)域涵蓋材料、化工、環(huán)境、食品、農(nóng)產(chǎn)品等。具備CMA、CNAS、CATL等資質(zhì)證書(shū)。實(shí)驗(yàn)室設(shè)施完備，建有色譜分析室、光譜分析室、無(wú)機(jī)預(yù)處理室、熱處理室、有機(jī)預(yù)處理室；配置有HS-GCMS、PY-GCMS、GC-FID/ECD/TCD、ICP-OES、AAS、UV、金相顯微鏡、MICRO-IR、LC、XRF等儀器。我院總部位于北京，全國(guó)在上海、廣州、深圳、合肥、南京、成都、武漢、杭州、天津、濟(jì)南、鄭州、西安、沈陽(yáng)等地區(qū)設(shè)立29家分院，擁有超過(guò)500名專(zhuān)業(yè)技術(shù)人員，20000㎡以上的實(shí)驗(yàn)及辦公場(chǎng)地。每年出具超過(guò)20000份報(bào)告，累計(jì)服務(wù)客戶(hù)45000多家，客戶(hù)類(lèi)型包含公檢法單位、高校及科研院所、500強(qiáng)企業(yè)、跨國(guó)公司等。并且我院環(huán)境事業(yè)部入選第三次全國(guó)土壤普查檢測(cè)實(shí)驗(yàn)室名單。直屬機(jī)構(gòu)安徽清析司法鑒定所獲批司法廳頒發(fā)的司法鑒定許可證、并通過(guò)司法部司法鑒定科學(xué)研究院34項(xiàng)能力驗(yàn)證。

【儀器設(shè)備】

現(xiàn)配有X射線熒光光譜儀（XRF）、阿貝折射儀、閉口閃點(diǎn)自動(dòng)測(cè)定儀、紅外光譜儀（IR）、火焰光度計(jì)、快速溶劑萃取儀、電感耦合等離子體光譜儀（ICP）、電感耦合等離子體質(zhì)譜儀（ICP-MS）、頂空氣相色譜質(zhì)譜聯(lián)用儀(HS-GCMS）、捕集阱頂空-氣質(zhì)聯(lián)用儀(PT-GCMS)、恒溫恒濕系統(tǒng)、離子色譜儀（IC)、氣相色譜儀（GC）、氣相色譜質(zhì)譜聯(lián)用儀（GCMS）、氣相色譜質(zhì)譜聯(lián)用儀（熱裂解）GC-MS(PY)、熱脫附-GCMS、示波極譜儀等、天平、微波消解儀、顯微紅外光譜儀（FT-IR）、顯微鏡、旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)儀、液相色譜串聯(lián)質(zhì)譜聯(lián)用儀（LC-MS)、紫外可見(jiàn)分光光度計(jì)（UV)、液相色譜儀、原子熒光（AFS）、熒光白度計(jì)、原子吸收光譜（AAS)。

【資質(zhì)證書(shū)】

已獲得檢驗(yàn)檢測(cè)機(jī)構(gòu)資質(zhì)認(rèn)定證書(shū)（CMA資質(zhì)證書(shū)）、中國(guó)合格評(píng)定國(guó)家認(rèn)可委員會(huì)實(shí)驗(yàn)室認(rèn)可證書(shū)（CNAS資質(zhì)證書(shū)）、農(nóng)產(chǎn)品質(zhì)量安全檢測(cè)機(jī)構(gòu)考核合格證書(shū)（CATL資質(zhì)證書(shū)）、質(zhì)量管理體系、環(huán)境管理體系、職業(yè)健康安全管理體系認(rèn)證證書(shū)等資質(zhì)證書(shū)。直屬機(jī)構(gòu)安徽清析司法鑒定所獲批頒發(fā)的司法鑒定許可證、并通過(guò)司法鑒定科學(xué)研究院34項(xiàng)能力驗(yàn)證。

【服務(wù)客戶(hù)】

我院每年出具超過(guò)20000份報(bào)告，累計(jì)服務(wù)客戶(hù)45000多家，客戶(hù)類(lèi)型包含公司單位、高校及科研院所、500強(qiáng)企業(yè)、跨國(guó)公司等。