定制維度（全參數(shù)自由組合）

1. 爐膛與結(jié)構(gòu)定制（適配樣品與空間）

尺寸定制：長 × 寬 × 高 / 容積 1L–500L 任意定制；圓形 / 方形 / 異形爐膛可選。

爐型結(jié)構(gòu)：箱式、立式、井式、臺車式、管式；雙層水冷 / 風冷 / 自然冷卻；爐門手動 / 液壓 / 氣動 +磁流體密封。

內(nèi)部結(jié)構(gòu)：多層獨立加熱區(qū)（每層獨立控溫）、分區(qū)溫場、定制載料臺 / 坩堝架 / 導軌、防污染內(nèi)襯。

材質(zhì)定制：高純氧化鋁纖維、剛玉、石墨、鉬合金、鎢反射屏；適配高溫 / 腐蝕 / 潔凈場景。

2. 溫度與真空定制（滿足工藝精度）

溫度范圍：100℃–2200℃ 全覆蓋；常用 1200/℃。

控溫精度：±1℃；恒溫區(qū)均勻性 ±2–5℃；多點測溫（3–8 點）實時監(jiān)控。

加熱元件：硅碳棒（≤1600℃）、硅鉬棒（≤1800℃）、高溫合金絲、石墨 / 鉬 / 鎢發(fā)熱體。

真空系統(tǒng)：

極限真空：粗真空（-0.1MPa）、高真空（10?3–10??Pa）、超高真空（10??Pa）。

泵組：旋片泵 + 擴散泵 / 分子泵 / 渦輪泵；真空檢漏、自動保壓、泄漏報警。

3. 氣氛系統(tǒng)定制（精準可控、多元混合）

氣氛類型：惰性（N?/Ar）、還原（H?/CO/ 氨分解）、氧化（O?/ 空氣）、可控碳勢、真空 + 氣氛復合。

氣路配置：1–8 路獨立氣路；MFC 質(zhì)量流量控制（精度 ±0.5% FS）；自動抽真空→充氣→穩(wěn)壓→保壓→排氣。

氣體凈化：脫氧（殘氧≤1ppm）、脫水（露點≤-60℃）、過濾；閉環(huán)循環(huán)，降低用氣成本。

壓力控制：微正壓 / 負壓 / 恒壓；壓力連鎖保護，超壓自動泄壓。

4. 自動化與控制定制（一鍵運行、全程追溯）

控制系統(tǒng)：7–12 寸觸摸屏 + PLC；50–100 段可編程曲線；自整定 PID；工藝配方存儲 / 調(diào)用。

智能功能：遠程監(jiān)控（PC/APP）、數(shù)據(jù)記錄 / 導出、故障診斷、自動啟停、斷電保護。

安全系統(tǒng)：超溫 / 斷偶 / 過流 / 漏電 / 真空異常 / 氣體泄漏報警；爐門聯(lián)鎖、緊急停機。

5. 特殊工藝定制（適配高端場景）

快速升降溫：升溫速率 1–40℃/min；強制風冷 / 水冷快速降溫。

CVD/PECVD：配氣源、噴淋、等離子體、尾氣處理。

加壓燒結(jié)：氣氛加壓 0.1–5MPa，適配熱壓 / 氣壓燒結(jié)。

潔凈 / 防污染：全不銹鋼腔體、無油真空、防揮發(fā)涂層。

標準定制流程（省心高效）

需求溝通：提供工藝參數(shù)（溫度、真空、氣氛、樣品尺寸、產(chǎn)量）。

方案設(shè)計：工程師出具定制方案 + 3D 圖 + 報價。

生產(chǎn)制造：模塊化生產(chǎn)，周期 17–30 天。

安裝調(diào)試：上門安裝、調(diào)試、培訓。

售后保障：終身維護、軟件升級、配件供應(yīng)。

典型定制案例

案例 1（實驗室小批量）：1200℃，300×200×200mm，高真空 10??Pa，Ar+H?混合，50段程控，觸摸屏。

案例 2（中試生產(chǎn)）：1600℃，800×600×500mm，雙層水冷，4 路 MFC，自動循環(huán)凈化，遠程監(jiān)控。

案例 3（高端材料）：1800℃，石墨爐膛，超高真空 10??Pa，加壓 1MPa，CVD 功能，分區(qū)控溫。