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四甲基氫氧化銨（英文名稱：Tetramethylammoniumhydroxide，簡稱TMAH），是一種季銨堿類有機(jī)化合物，分子式為(CH3)4NOH，相對(duì)分子量為91.15 。TMAH外觀為無色晶體（常含三、五等結(jié)晶水），有一定的氨氣味 ，熔點(diǎn)63℃ ，沸點(diǎn)120℃。易溶于水和醇類，微溶于二甲基亞砜、二氯甲烷等有機(jī)溶劑。TMAH銨具有強(qiáng)堿性，能和多種酸反應(yīng)生成季銨鹽，在空氣中能迅速吸收二氧化碳形成碳酸鹽，還具有較強(qiáng)的甲基化能力，酯化反應(yīng)速度快。TMAH受熱易分解，在135~145℃時(shí)分解氣化。

工業(yè)上，一般采用四甲基銨鹽和氫氧化物作為原料制備TMAH，常見的制備方法包括沉淀法、堿置換法、雙極膜電滲析法、電解法和離子膜電解法等 。TMAH被廣泛用于半導(dǎo)體領(lǐng)域，主要用作印刷電路板的光刻顯影劑以及微電子芯片制造中的清洗劑。在工業(yè)領(lǐng)域和分析領(lǐng)域也有廣泛用途，如用作有機(jī)合成試劑、表面活性劑、催化劑、緩蝕劑及甲基化溶劑等 。

TMAH是一種強(qiáng)堿，燃燒會(huì)釋放出有毒氮氧化物和氨氣煙霧 。接觸、食入或吸入TMAH對(duì)人體皮膚、眼睛、粘膜具有強(qiáng)刺激性和腐蝕性，吸入可引起喉、支氣管炎癥、痙攣、化學(xué)性肺炎及肺水腫等 。進(jìn)入人體后，TMAH可與膽堿能受體激動(dòng)劑反應(yīng)分解，其分解產(chǎn)物會(huì)抑制呼吸肌肉群，造成呼吸肌肉麻痹，導(dǎo)致腦部缺氧和器官衰竭死亡。成人的口服致死劑量估計(jì)為250~1000mg

中文名 四甲基氫氧化銨 

外文名 Tetramethylammoniumhydroxide 

化學(xué)式 C4H13NO 

分子量 91.152 

CAS登錄號(hào) 75-59-2 

EINECS登錄號(hào) 200-882-9 

熔    點(diǎn) 68至 71 ℃

沸    點(diǎn) 110℃ 

水溶性 可溶

密    度 0.866g/cm3

外    觀 無色結(jié)晶性粉末。

應(yīng)用領(lǐng)域

在半導(dǎo)體工業(yè)中，TMAH作為正性光刻膠顯影液的核心材料，用于集成電路和顯示面板的制造工藝。其2.38%水溶液是標(biāo)準(zhǔn)的顯影液濃度，能夠jingque控制圖形精度 。

在硅片制絨領(lǐng)域，TMAH替代傳統(tǒng)的NaOH/IPA溶液，用于制備減反射金字塔絨面。典型配方為2%TMAH + 5% IPA，在80°C下腐蝕10分鐘，可使反射率降低40% 。

在納米材料合成方面，TMAH用于水熱法制備Ti/TiO?納米結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)氮/碳自摻雜，拓展光吸收至近紅外區(qū)域 。

在分析化學(xué)中，TMAH作為衍生化試劑用于氣相色譜分析，快速制備羧酸甲酯 。

此外，TMAH還作為有機(jī)硅合成的催化劑、相轉(zhuǎn)移催化劑和極譜分析試劑等。

儲(chǔ)存運(yùn)輸

儲(chǔ)存于陰涼通風(fēng)的庫房，溫度保持在30°C以下，避免陽光直射。容器必須密封良好，防止吸濕和吸收二氧化碳。與酸類、氧化劑分開存放，切忌混儲(chǔ)。運(yùn)輸時(shí)按照危險(xiǎn)化學(xué)品管理，聯(lián)合國編號(hào)為UN1835（溶液）或UN3423（固體），包裝類別為II類。產(chǎn)品保質(zhì)期通常為6個(gè)月，超期需重新檢測。