技術(shù)規(guī)格：

1.測(cè)量溫度：室溫---600°C ;

2.控溫精度：±1℃ ，

3.顯示精度：±0.1℃；

4.升溫斜率：1-5°C/min；測(cè)量精度：0.05%；

5.電阻率：10-5 ～105 Ω.cm ; 

6.電導(dǎo)率：10-5 ～105 s/cm

7.方塊電阻：10-4 ～106 Ω/□；

8.電阻：10-5 ～105 Ω；

9.探針間距：2±0.01mm；

10.探針壓力：0~2kg可調(diào)；

11.針間絕緣電阻：≥1000MΩ；

12.真空腔體漏率標(biāo)準(zhǔn)要小于10-9 Pa·m3/s ; 

13.樣品：直徑15~30mm，厚度小于4mm；

 

佰力博HRMS-800高溫四探針測(cè)量系統(tǒng)用于研究高溫條件下材料的導(dǎo)電性能，該系統(tǒng)可以測(cè)量硅、鍺單晶（棒料、晶片）電阻率、測(cè)定硅外延層、擴(kuò)散層和離子注入層的方塊電阻以及測(cè)量導(dǎo)電玻璃（ITO）和其它導(dǎo)電薄膜的方塊電阻，設(shè)備按照單晶硅物理測(cè)試方法國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國(guó)A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計(jì)的，專用于高溫、真空及氣氛條件下測(cè)試半導(dǎo)體材料電學(xué)性能。

 

高溫、真空、氣氛的多樣化測(cè)量環(huán)境的實(shí)現(xiàn)，為四探針測(cè)量系統(tǒng)開創(chuàng)了一個(gè)廣闊的天地；方案、測(cè)量、分析集于一體，實(shí)現(xiàn)高效的測(cè)量過程；前沿的電極系統(tǒng)，保證高溫下探針不氧化，真空下可精準(zhǔn)調(diào)節(jié)探針距離，自動(dòng)調(diào)節(jié)樣品測(cè)試電壓等，這些功能的實(shí)現(xiàn)，讓測(cè)試簡(jiǎn)單化，高效化。佰力博提供定制需求開發(fā)，歡迎來電咨詢！