硅片清洗機:可提供從研磨到Zui終清洗的全流程清洗工藝非標設備定制(研磨后清洗:去除研磨磨粒,主要使用堿和界面清洗劑。堿性蝕刻清洗:去除研磨后的加工變形。前熱處理清洗:在RCA清洗工藝基礎(chǔ)上,調(diào)整工藝路線配置。熱處理后清洗:在RCA清洗工藝基礎(chǔ)上,調(diào)整工藝路線配置。拋光后清洗設備:在RCA清洗工藝基礎(chǔ)上,包括DHF/SC-1/SC-2/O3處理。Zui終清洗:在RCA清洗工藝基礎(chǔ)上,DHF/SC-1/SC-2/O3進行工藝清洗處理。設備槽體可設計為單排或雙排,槽體材質(zhì)根據(jù)藥液不同可采用、PVDF、PTFE、石英、不銹鋼等材料。晶圓尺寸、晶圓每批處理數(shù)量不同,槽體尺寸相應調(diào)整,配有晶圓干燥裝置。機械臂定位精度高;作業(yè)區(qū)內(nèi)有害氣體多種安全主動及被動保護相結(jié)合,保證操作人員作業(yè)環(huán)境及人身安全;客制化設計能力佳,高設計能力滿足客戶制程工藝需要;機械臂裝置Robot的工藝路徑種類N種(設備出廠前載入PLC內(nèi));傳送定位精度≤0.3mm,機械臂走向右進左出’或‘左進右出’;制程控制為PLC控制方式;操作界面為全圖形化中文彩色人機界面(10.4彩屏);槽體數(shù)量根據(jù)制程工藝要求選擇定制;設備制造北京華林嘉業(yè)科技有限公司(CGB);
半導體設備、平板顯示設備、太陽能...
半導體設備、平板顯示設備、太陽能光伏設備、環(huán)保水處理設備、自動化設備及上述設備相關(guān)零部件的設計、研發(fā)、生產(chǎn)、加工、組裝、銷售,并提供相關(guān)設備安裝工程的技術(shù)服務;自營和代理上述商品及技術(shù)的進出口業(yè)務;技術(shù)推廣、技術(shù)開發(fā)、技術(shù)轉(zhuǎn)讓;經(jīng)濟貿(mào)易咨詢(投資、金融、證券、期貨、基金、貴金屬除外);...
大正華嘉科技(香河)有限公司(簡稱CGB),公司總部坐落于北京行政副中心。我們的目標是建立一座現(xiàn)代化花園式工廠。CGB主要從事半導體、平板顯示等領(lǐng)域濕法制程設備的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售。 產(chǎn)品性能處于國內(nèi)行業(yè)領(lǐng)先地位,并逐漸接近國際行業(yè)先進水平。我們嚴格按照國際質(zhì)量管理體系標準,對研發(fā)、生產(chǎn)、服務進行全方位、全過程管理。公司注重持續(xù)創(chuàng)新和技術(shù)改進,依托本地化的制造基礎(chǔ)和便捷服務、國際化的經(jīng)營理念和人才團隊、先進的工藝 試驗條件和暢通的零部件供...