一.SJ6000激光干涉儀概述

激光干涉儀是激光在計(jì)量領(lǐng)域中成功的應(yīng)用之一，利用光的干涉實(shí)現(xiàn)測量，具有非接觸、無損檢測的特點(diǎn)，在不同領(lǐng)域都有廣泛的應(yīng)用，如利用F-P干涉儀和半導(dǎo)體激光二極管測量大型精密離心靜態(tài)臂長；利用電子散斑干涉技術(shù)實(shí)現(xiàn)物體表面微小形變的非接觸式測量、李永干涉合成孔徑雷達(dá)實(shí)現(xiàn)對地表變形進(jìn)行測量；利用相干梯度敏感干涉測量技術(shù)對靜態(tài)斷裂現(xiàn)象的測量；利用非共面多光束干涉可以在空間形成二維或三維周期性強(qiáng)度分布，從而被用來制作二維或三維光子晶體；利用全息干涉技術(shù)可用于位移及形變測量、應(yīng)變與應(yīng)力分析、缺陷或損傷探測、振動模式可視化及測量、晶體和蛋白質(zhì)生長過程監(jiān)測、流體中密度場和熱對流場的觀察與測量、以及光學(xué)材料與器件的參數(shù)測量等。

二.SJ6000激光干涉儀用途

SJ6000激光干涉儀產(chǎn)品具有測量精度高、測量速度快、*高測速下分辨率高、測量范圍大等優(yōu)點(diǎn)。通過與不同的光學(xué)組件結(jié)合，可以實(shí)現(xiàn)對直線度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測量。在相關(guān)軟件的配合下，還可以對數(shù)控機(jī)床進(jìn)行動態(tài)性能檢測，如可以測量數(shù)控機(jī)床的定位精度、重復(fù)定位精度、微量位移精度等動態(tài)參量，可以進(jìn)行機(jī)床振動測試與分析，滾珠絲桿的動態(tài)特性分析，驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析，導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析等，具有高的精度和效率，而且及時處理數(shù)據(jù)，為機(jī)床誤差修正提供依據(jù)。

三.SJ6000激光干涉儀性能特點(diǎn)

1.測量精度高、速度快，穩(wěn)定性好

①使用高性能氦氖激光器，結(jié)合伺服穩(wěn)頻控制系統(tǒng)，達(dá)到高精度穩(wěn)頻(0.05ppm)

②以光波長(633nm)為測量單位，分辨率可達(dá)nm級

③使用高速光電信號采樣和處理技術(shù)，測量速度可達(dá)到4m/s。

④配合有環(huán)境補(bǔ)償單元，在環(huán)境變化的情況下，也可以得到較高的測量精度

⑤分離式干涉鏡設(shè)計(jì)，避免了測量鏡組由于主機(jī)發(fā)熱而引起的鏡組形變

2. 應(yīng)用范圍廣

①可以實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測

②結(jié)合我們的軟件系統(tǒng)，可以用于速度，加速度，振動分析以及穩(wěn)定度等分析

③ 可實(shí)時監(jiān)控精密加工機(jī)床等機(jī)器的動態(tài)數(shù)據(jù)，進(jìn)行動態(tài)特性分析

3.軟件界面友好

①使用當(dāng)前熱門的軟件界面開發(fā)工具，軟件界面人性化，操作簡單。

②將靜態(tài)測量和動態(tài)測量兩種功能合并到一個軟件中，更方便用戶切換測量類型。

③向?qū)讲僮鳎鞒糖逦?，更符合國?nèi)用戶的使用習(xí)慣。

4.性價比好

性能達(dá)到了國外儀器的水準(zhǔn)，價格是國內(nèi)儀器的良心價。

四.SJ6000激光干涉儀技術(shù)參數(shù)

     系統(tǒng)性能

2 測量方式：單頻

2 穩(wěn)頻精度：0.05ppm

2 動態(tài)采集頻率：50 kHz

2 預(yù)熱時間：5-10分鐘

2 工作溫度范圍：0~40℃

2 環(huán)境溫度范圍：0~40℃

2 存儲溫度范圍：-20℃~70℃

     環(huán)境補(bǔ)償示值誤差

2 空氣溫度傳感器：±0.2℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃

2 材料溫度傳感器：±0.1℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃

2 空氣濕度傳感器：±6% (0-95%)

2 大氣壓力傳感器：±1mBar (650-1150mbar)

     線性測量

2 測量距離：0-40m

2 測量精度：0.5ppm (0-40℃)

2 測量分辨率：1nm

2 測量*大速度：4m/sec