luphoscan非接觸三維形貌測(cè)量?jī)x
luphoscan是基于mwli(多波長(zhǎng)干涉)技術(shù)的非接觸三維形貌掃描測(cè)量系統(tǒng)，它能夠?qū)崿F(xiàn)高精度、非接觸的光學(xué)元件面形測(cè)量，包括測(cè)量旋轉(zhuǎn)對(duì)稱的各種球面、非球面、平面、自由曲面等。

測(cè)量原理
利用mwli（多波長(zhǎng)干涉）點(diǎn)傳感器連續(xù)測(cè)量傳感器到被測(cè)件的距離。被測(cè)件放置在一個(gè)可360度旋轉(zhuǎn)的平臺(tái)上，兩個(gè)線性平臺(tái)（水平(r)及垂直(z）)用來控制mwli傳感器。在標(biāo)準(zhǔn)操作模式下，傳感器垂直于被測(cè)表面，同時(shí)沿著樣件對(duì)應(yīng)的理想的輪廓移動(dòng)完成面形掃描，由此產(chǎn)生的點(diǎn)狀圖即顯示了可能出現(xiàn)的任何偏差和缺陷 從而完成了對(duì)面形的測(cè)試。
測(cè)量精度
利用參考傳感器及獨(dú)特的補(bǔ)償系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)了系統(tǒng)的高精度測(cè)量。通過補(bǔ)償系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)了對(duì)測(cè)量傳感器的連續(xù)定位，并補(bǔ)償了r，z及t軸的機(jī)械誤差。配合超高精度的mwli傳感器技術(shù)，luphoscan系統(tǒng)保證了在整個(gè)測(cè)量區(qū)的面形精度優(yōu)于50nm。
應(yīng)用
luphoscan干涉儀可以用于測(cè)量旋轉(zhuǎn)對(duì)稱表面的面形，其坐標(biāo)軸的布局允許它測(cè)量大非球面的元件及頂狀元件，除此之外，還能實(shí)現(xiàn)對(duì)垂直表面高度的測(cè)量，甚至信號(hào)中斷之后也可以繼續(xù)測(cè)量。這樣可以實(shí)現(xiàn)透射元件、金屬面、拋光前后、球缺表面的測(cè)量。
技術(shù)參數(shù)

型號(hào)luphoscan+r測(cè)量技術(shù)光纖多波長(zhǎng)干涉技術(shù)掃描模式2d線性掃描輪廓，等距，普通3d拓?fù)鋻呙栊D(zhuǎn)，等距，普通測(cè)量范圍260mm (直徑)×75 mm（高度）精度p2v
(光束入射角度<2°)拋光ra<2um2um≦ra≦5um±50nm±250nm±1um縱向分辨率0.1nm重復(fù)性rms3nm光斑大小4μm橫向分辨率(點(diǎn)/mm2）(可調(diào))0,1….2×105測(cè)量時(shí)間平面,ф=25mm120s (16 poins/mm2),
240s(100 poins/mm2球面ф=60mm
roc=40mm200s(16 poins/mm2),
442s(100 poins/mm2球面ф=80mm
roc=80cm365s(16 poins/mm2),
733s(100 poins/mm2）非球面度無限制，一般≥1000μmZui大測(cè)試傾斜90°Zui大測(cè)試口徑260mm、420mm（或更大）

面形材料拋光，粗糙，鏡面，透明，不透明，金屬表面

面形種類（任何的旋轉(zhuǎn)對(duì)稱表面） 球面、非球面、平面、部分自由曲面、臺(tái)階

詳情電聯(lián)

本產(chǎn)品的加工定制是否，類型是激光干涉儀，品牌是LUPHOScan，型號(hào)是LUPHOScan，品種是其他干涉儀，測(cè)量范圍是260*75，測(cè)量分辨率是0.0000001mm，Zui近工作距離是10（mm）