儀器特點：

掃描電子顯微鏡采用大樣品室的半內(nèi)透鏡設(shè)計，卻能達(dá)到超高分辨率，可以與內(nèi)透鏡uhr掃描電鏡相媲美。

主要特點：

1.新型物鏡采用專利的exb設(shè)計。使用單檢測器和超級exb可以分別收集和分離單純二次電子、混合二次電子及背散射電子的信號。
2. 1kv低加速電壓,不使用減速功能,可保證有2.0nm的分辨率。
3. 兩種樣品臺可選：i型50mm x 50mm標(biāo)準(zhǔn)樣品臺或ⅱ型110mm x 110mm大樣品臺。
4. 包括磁懸浮渦輪分子泵在內(nèi)的先進(jìn)的真空系統(tǒng)。
5. 光闌自清潔技術(shù),避免了光闌的污染。

技術(shù)參數(shù)：

二次電子分辨率: 1.4nm (1 kv，減速模式)
1.0nm (15kv)
電子光學(xué)：
電子槍: 冷場發(fā)射電子源
加速電壓: 0.5~30kv(0.1kv/步，可變)
放大倍率: x 20~ x 800,000
物鏡光闌: 4孔，真空外選擇和調(diào)校(內(nèi)置加熱器)
檢測器: 二次電子檢測器 (高位/低位)
背散射電子檢測器(可選)
edx(可選)
透射電子檢測器(可選)
法拉第杯(可選)
陰極熒光檢測器(可選)
樣品臺: l型:
x: 0~50mm y: 0~50mm
z:1.5~30mm t: -5~+70°r:360°
驅(qū)動:手動(可選3軸驅(qū)動)
ll型:
x: 0 ~110 mm y: 0 ~110mm
z: 1.5 ~40 mm t: -5 ~+70°
r: 360°驅(qū)動:pc機控制5軸驅(qū)動

圖像顯示:

操作/顯示: pc/at 兼容,
操作系統(tǒng)： windowstm 2000
18.1" 平面顯示器
掃描模式: 標(biāo)準(zhǔn)，split/dual mag./line scan, position

畫面儲存: 640 x 480, 1,280 x 960,
2,560 x 1,920,5,120 x 3,840
圖像編輯: 內(nèi)置圖像處理軟件和圖像編輯軟件
圖像文件格式: bmp, tiff, jpeg
掃描速度: tv, 慢速 (0.5 ~ 40 s/幀) 用于觀察
慢速 (40 ~ 320 s/幀) 用于記錄
成像過程: 自動調(diào)節(jié)亮度和對比度
光柵旋轉(zhuǎn)，自動聚焦，自動像散校正，
平均，幀積分，偽彩色顯示
自動數(shù)據(jù)記錄: 膠卷號，加速電壓，微米標(biāo)尺，放大
倍率，日期，時間，工作距離
電子圖像移動: ±12u( w.d. = 8 mm)
真空系統(tǒng): 完全氣閥自動調(diào)節(jié)
離子泵 3 臺
渦輪分子泵(磁浮型) 1 臺
機械泵 1 臺

本產(chǎn)品的類型是電子顯微鏡，品牌是BOEN，型號是13646，目鏡放大倍數(shù)是x20~x800,000，物鏡放大倍數(shù)是20~800,000，加工定制是否