金屬薄膜是采用鍍膜技術(shù)在基底表面形成的金屬或合金薄層，在半導(dǎo)體制造、光伏電池、精密儀器等行業(yè)承擔(dān)關(guān)鍵功能，其氧化傾向性關(guān)乎設(shè)備運(yùn)行壽命與性能表現(xiàn)。

檢測(cè)方法

利用熱重分析儀，監(jiān)測(cè)金屬薄膜在程序升溫過程中質(zhì)量變化，捕捉氧化起始點(diǎn)與增重趨勢(shì)。

通過掃描電鏡觀察氧化前后薄膜微觀結(jié)構(gòu)，結(jié)合能譜儀分析氧化產(chǎn)物元素組成。

開展高溫高濕環(huán)境模擬實(shí)驗(yàn)，加速氧化進(jìn)程以評(píng)估薄膜在極端條件下的穩(wěn)定性。

檢測(cè)項(xiàng)目

確定氧化誘導(dǎo)期，掌握薄膜從制備到開始氧化的時(shí)間跨度。

量化氧化速率常數(shù)，對(duì)比不同薄膜材料抗氧化性能差異。

檢測(cè)氧化膜致密度，判斷其對(duì)基體的防護(hù)效果。

檢測(cè)范圍

集成電路制造中使用的銅、鋁互連薄膜。

太陽能電池表面的銀、銦錫氧化物導(dǎo)電薄膜。

醫(yī)療器械表面的鈦合金防護(hù)薄膜。

檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)

ISO 21702:2019 規(guī)定了聚合物薄膜氧化誘導(dǎo)時(shí)間的測(cè)試方法，部分流程可遷移應(yīng)用。

GB/T 19506-2013 關(guān)于金屬材料抗氧化性能測(cè)試的規(guī)范，提供高溫氧化試驗(yàn)操作指引。

檢測(cè)優(yōu)勢(shì)

整合多種技術(shù)手段交叉驗(yàn)證，確保檢測(cè)結(jié)果互相補(bǔ)充。

參照國內(nèi)外通行標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行，貼合行業(yè)實(shí)際應(yīng)用需求。

檢測(cè)報(bào)告作用

助力研發(fā)團(tuán)隊(duì)調(diào)整鍍膜工藝參數(shù)，優(yōu)化薄膜抗氧化配方。

為采購方提供客觀數(shù)據(jù)參考，降低因材料氧化引發(fā)的產(chǎn)品失效風(fēng)險(xiǎn)。