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分子泵的清洗：

 一般來(lái)講，如果說(shuō)前級(jí)泵沒(méi)有問(wèn)題，而真空在規(guī)定的時(shí)間內(nèi)沒(méi)有達(dá)到規(guī)定的真空值或者有漏氣（排除其它的漏氣）、或著解吸附作用降低，說(shuō)明真空泵有點(diǎn)臟了，需要進(jìn)行清洗，這時(shí)不用進(jìn)行拆卸就可以直接進(jìn)行清洗，如果太臟的話，就必須進(jìn)行拆卸清理了。直接清洗的方法如下：1．關(guān)掉分子泵，進(jìn)行排氣。

2．從機(jī)器上拆下分子泵，注意不要碰到接口的邊緣部分。 3．拆掉冷卻器、加熱器（如果有的話）等 4．拆掉潤(rùn)滑的油包

5．將分子泵的高真空接口朝下垂直地放入一個(gè)適合的容器中。

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優(yōu)點(diǎn)

渦輪分子泵可不用任何阱，按操作規(guī)程工作，就能為被抽容器提供一個(gè)極為清潔的真空環(huán)境，且不含有任何碳?xì)浠衔?。由于現(xiàn)代的渦輪分子泵除大泵外很少用油潤(rùn)滑的了，對(duì)于小泵多用油脂潤(rùn)滑軸承，也有用空氣軸承的，但磁懸浮軸承用得較多。近幾年來(lái)也有不少干式前級(jí)泵出現(xiàn)，使渦輪分子泵系統(tǒng)不存在油蒸汽返流，使它真正成為一種清潔的干式高真空泵

氣體輸送能力強(qiáng)

大多數(shù)渦輪分子泵對(duì)于輸送輕氣體（如氫、氦）的能力很強(qiáng)。因而它非常適于超高真空下的工藝操作。對(duì)于那些富氫的工藝過(guò)程，氦質(zhì)譜檢漏儀等場(chǎng)合均可得到應(yīng)用。有專門(mén)設(shè)計(jì)用于抽除腐蝕性氣體的渦輪分子泵，適用于刻蝕、反應(yīng)離子刻蝕，離子束加工，低壓化學(xué)氣相沉積，外延及離子注入等工藝操作。