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- 品牌
- Varian
- 型號
- PG1348
工作原理:
牽引分子泵的泵腔內(nèi)有可旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子,轉(zhuǎn)子的四周帶有溝槽并用擋板隔開。每一個溝槽就相當于一個單級分子泵,后一級的入口與前一級的出口相連。轉(zhuǎn)子與泵殼之間有0.01mm的間隙。氣體分子由入口進入泵腔,被轉(zhuǎn)子攜帶到出口側(cè),經(jīng)排氣管道由前級泵抽走。牽引分子泵的優(yōu)點是起動時間短,在分子流態(tài)下有很高的壓縮比,能抽除各種氣體和蒸汽,特別適于抽除較重的氣體。
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真空分子泵應用領域: 分析儀器:各類質(zhì)譜儀;所相分析儀;電子顯微鏡:檢漏儀.
工業(yè)應用:顯象管排氣;電子管設備:光盤鍍膜設備:檢漏儀系統(tǒng);半導體工藝;離子刻蝕.
科研應用:高能物理;表面分析;真空技術各領域.
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