G-SKC系列石英振動體清洗機-北京信源天恒供應(yīng)

此系列型號有：G-SKC、G-SKC、G-SKC

噴頭式 噴淋式 單片清洗

石英振動體類型

下一代清洗技術(shù)，實現(xiàn)低損害和高清潔度

2006年，世界上第一臺石英振動體超聲清洗裝置投入實際使用。
在這種方法中，通過在石英振動體上疊加超聲波對半導體晶圓進行清洗。
與批量清洗和流水清洗相比，可以減少化學品的使用量，由于只有石英玻璃與液體接觸，沒有墊片等橡膠材料與液體接觸，因此能保持較高的清潔度。
石英振動體有不同的形狀，以適應(yīng)不同的用途，能夠根據(jù)需要進行有效的清洗，如低損傷清洗、大面積清洗、斜面（邊緣表面）和缺口（晶圓邊緣表面的缺口）的清洗等。