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- Varian
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但是如果讓葉列向運(yùn)動的方向傾斜時,情況就不一樣了。首先,如圖8,讓葉列向右傾斜,但葉列靜止不動,那么兩側(cè)氣體通過葉列的傳輸幾率仍然是相同的,然葉列一運(yùn)動(向右),如圖9,兩邊氣體通過葉列的傳輸幾率就不相同了,顯然此時從上向下的傳輸幾率要大于從下向上的傳輸幾率,而且隨著葉列運(yùn)動速度的增大,上、下傳輸幾率的差異也增大。當(dāng)然與空弦比、傾斜角也有關(guān)。當(dāng)葉列的運(yùn)動速度趨向無窮大時(這是一種理想的情況),即如圖10所示,上、下傳輸幾率的差異可以達(dá)到Zui大值。所以渦輪分子泵的抽速,除了受到制造技術(shù)上的限制,其本身就存在一個物理上的極限。
分子泵的清洗:
一般來講,如果說前級泵沒有問題,而真空在規(guī)定的時間內(nèi)沒有達(dá)到規(guī)定的真空值或者有漏氣(排除其它的漏氣)、或著解吸附作用降低,說明真空泵有點(diǎn)臟了,需要進(jìn)行清洗,這時不用進(jìn)行拆卸就可以直接進(jìn)行清洗,如果太臟的話,就必須進(jìn)行拆卸清理了。直接清洗的方法如下:1.關(guān)掉分子泵,進(jìn)行排氣。 2.從機(jī)器上拆下分子泵,注意不要碰到接口的邊緣部分。 3.拆掉冷卻器、加熱器(如果有的話)等4.拆掉潤滑的油包 5.將分子泵的高真空接口朝下垂直地放入一個適合的容器中。6.往容器中用人無水酒精,高度以前級真空接口略低為宜,如下圖。7.上下活動分子泵幾次,便于分子泵的定子和轉(zhuǎn)子的葉片清洗,在無水酒精中浸泡大概5~10分鐘。8.換掉無水酒精,加入新的無水酒精,重復(fù)前面的工作,Zui少要重復(fù)一次。 9.拿出分子泵。10.將高真空接口朝上,從垂直慢慢放倒到180度,以便排除磁性軸承中的酒精。
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