螺旋真空泵浦產(chǎn)品特色

　　漢鐘精機PS系列干式螺旋真空泵浦乃是利用一對互相咬合的螺旋轉(zhuǎn)子，在轉(zhuǎn)子間維持微小的間隙，使得真空泵浦運轉(zhuǎn)時腔體內(nèi)無需潤滑，因而無油氣回漏污染的問題。透過專利轉(zhuǎn)子線形良好的密封效果，壓力可達(dá)7.5×10-3Torr。螺旋式真空泵浦由于排氣路徑短，粉塵移除能力較其他型式的真空泵浦強，加上轉(zhuǎn)子表面披覆特殊材質(zhì)的鍍膜，因此可適用于PECVD、Etching等嚴(yán)苛制程。

 

泵浦溫度控制精準(zhǔn) 

　　漢鐘精機PS系列干式螺旋真空泵浦，承襲上一代真空泵浦優(yōu)良的轉(zhuǎn)子設(shè)計，同時改善殼體的冷卻方式，采用水套間接水冷的方式來降低殼體的溫度，能夠更精準(zhǔn)地控制泵浦內(nèi)部溫度，減少沉積物的產(chǎn)生，增加真空泵浦的壽命。 

 

密封馬達(dá)安全性高

　　PS系列真空泵浦亦全面采用專利設(shè)計的水冷罐裝密封馬達(dá)，除了能維持更低的馬達(dá)運轉(zhuǎn)溫度增加馬達(dá)的壽命外，也可完全避免制程氣體外漏的風(fēng)險。

 

微電腦控制保護(hù)周全 

　　PS系列真空泵浦亦可配備微電腦控制器，可同時監(jiān)控馬達(dá)電流、馬達(dá)溫度、殼體溫度、冷卻水流量、氮氣流量以及齒輪箱油位高低，提供真空泵浦完整的安全性保護(hù)，十分適用于光電、半導(dǎo)體、太陽能與TFT-LCD等產(chǎn)品穩(wěn)定性要求極高之產(chǎn)業(yè)。