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一種電流參數(shù)的校準系統(tǒng)與方法，特別是一種基于標準電磁閥和示波器的電流參數(shù)校準系統(tǒng)及方法。實現(xiàn)了專測設備的準確校準，設備上電后，專測設備、標準電磁閥、采樣電阻、程控電源形成閉合回路，采樣電阻上的電流即為標準電磁閥電流。通過示波器采集采樣電阻兩端的電壓，得到電壓曲線；根據(jù)歐姆定律，計算得到電流曲線，通過分析，得到穩(wěn)態(tài)電流值，即為標準電流，和被測電流值進行對比，實現(xiàn)校準。
集成電路元器件的翻轉時間、延遲時間、脈沖寬度等參數(shù)是與時間相關的參量，統(tǒng)稱為集成電路時間參數(shù)。集成電路時間參數(shù)的測量和定值需要通過集成電路測試系統(tǒng)對其進行測試來實現(xiàn)，因此測試系統(tǒng)在測量集成電路元器件的時間參數(shù)之前，需要對測試系統(tǒng)本身的與時間參數(shù)有關的部件進行校準，確保測試系統(tǒng)本身準確可靠，達到準確測量集成電路時間參數(shù)的目的。數(shù)字通道作為集成電路測試系統(tǒng)的主要部件，也是承擔集成電路時間參數(shù)測量的主要部件，本發(fā)明主要是針對數(shù)字通道進行時間參數(shù)校準。
技術實現(xiàn)要素：
針對現(xiàn)有技術存在的問題，提供一種集成電路測試系統(tǒng)時間參數(shù)校準方法及校準裝置。
本發(fā)明的目的是通過以下技術方案實現(xiàn)的：
根據(jù)本發(fā)明的第一方面的一種集成電路測試系統(tǒng)時間參數(shù)校準方法，所述校準方法包括以下步驟：
s1、使用集成電路測試系統(tǒng)測量集成電路時間參數(shù)，對所述集成電路測試系統(tǒng)的各個測試通道進行分項測量，獲取同步偏差時間和傳輸延遲時間；
s2、通過公式計算出所述集成電路測試系統(tǒng)在進行集成電路時間參數(shù)測量的過程中所引入的系統(tǒng)誤差。
在上述方面中，所述步驟s1中分項測量包括：
從所述各個測試通道中任選一條通道作為參考通道，從剩余通道中任選兩條通道記為m通道和n通道；
REXROTH 4WE 10 E33/CG24N9K4 123209693
DESTACO 9530GR
GEMU 88026752 600 10m52
NORD SK-100L/40 3KW SK772-100L/40 3KW n1/n2=61 i=23.62減速機電機一體
E+L FR5001 CH-327241紅外線電眼
J.THIELMANN BRG-2000/DC 200615
HYDAC 0160DN025BH4HC
HALDEX GPA1-2-F-30-L
HYDAC AS 1008-C-000 Part No:909109
SCHUNK 301469
WURTH 57001112
JUMO 00049707
HUBNER HOG10DN1024I 700001451899
SCHUNK 0301032
KLUBER NCA15 50g
HORIBA SEC-N114MGMCS13MR MG-04 200SCM 4CRL CL2
IFM PK6531 Pmax：40MPa
MTS 型號：560701（STC0 9131D07 PG9)，D7水平出線，配2米長線
HENGSTLER 【0864165】IMP.ZAE.24DC 6ST.RT FP 56X40
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