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安徽純源鍍膜——PISC系列等離子體增強純離子鍍膜設備


設備優(yōu)勢:

?集純離子鍍膜技術(Pureion Cathode)+ 離子束清洗(Ionbeam)+磁控濺射(Sputter)+磁約束氣相沉積(Magneticconfinement-CVD)于一體,是PVD技術與CVD技術的一次完美融合;

?可實現(xiàn)TAC-DLC的組合,獲得TAC更高基礎硬度與結(jié)合力的同時,兼有DLC的沉積速率及細膩外觀; 

?比單純CVD的結(jié)合力大幅度提升,同時降低了PVD的顆粒度,縮短工藝時間;

?可實現(xiàn)多種工藝C膜沉積,純離子鍍TAC,磁約束放電DLC,陽極層離子源鍍DLC等。


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 設備基本性能參數(shù)

參數(shù)

PE213

PE422

PE624

鍍膜源類型

陽極層線性離子源、磁控濺射源、純離子鍍膜源

極限真空/漏率

5×10-4Pa  / <10-11Pa?m3/s

抽氣速率

< 30分鐘(真空度3x10-3 Pa,空載)

真空室尺寸

Φ800*H675

Φ1000*H1000

Φ1400*H1100

均勻性

±5%

可選配套電源

直流、脈沖直流、中頻、射頻、高功率脈沖等

工藝氣體

Ar ,C2H2,N2、O2等

靶材匹配

石墨靶、Cr、Ti、Ni、Cu、Ta、Zr、W等金屬單質(zhì)或合金靶

真空系統(tǒng)

機械泵+羅茨泵+分子泵

控制方式

PLC+上位機

設備功率

30KW

40KW

60KW

配套要求

循環(huán)水壓力:0.3-0.4MPa,壓縮空氣:0.5-0.75MPa


更新時間
黃金會員
第3年
統(tǒng)一社會信用代碼
91340100394452746Q
成立日期
2014年10月23日
法定代表人
張心鳳
注冊資本
800

主營產(chǎn)品

真空鍍膜設備,PVD鍍膜加工,類金剛石涂層加工,磁控濺射鍍膜機,純離子鍍膜設備

經(jīng)營范圍

納米薄膜、機電一體化、機電設備、材料科學設備及技術研發(fā)、設計、安裝、維修、服務及銷售。(依法須經(jīng)批準的項目,經(jīng)相關部門批準后方可開展經(jīng)營活動)

公司簡介

安徽純源鍍膜科技有限公司是由新加坡歸國創(chuàng)業(yè)團隊于2014年創(chuàng)立的高科技公司,坐落于合肥市高新區(qū)習友路3789號。主要從事真空納米、微米級高端鍍膜裝備的設計、研發(fā)和制造;并提供多種功能膜層的工藝開發(fā)和鍍膜加工服務。公司目前擁有設計、研發(fā)、工藝、市場和生產(chǎn)等各方面的人才。在陰極?。–athode Arc)、磁控濺射(Sputter)、電子束蒸發(fā)(E-beam Evaporation)、離子束刻蝕清洗(IBE)、化學氣相沉積(CVD)等領域都...

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地址合肥市高新區(qū)習友路3789號
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