超高解析度電子束光阻：ZEP530A
特徵
ZEP530A是一種非化學放大型正型電子束抗蝕劑，具有優(yōu)異的分辨率和耐干蝕刻性以及寬的工藝余量。
薄膜形成是可能的。
電子束光阻產(chǎn)品表
品名黏度（mPa?s）塗佈膜厚（nm）
@2000rpm溶劑包裝方式電子束光阻ZEP53T瓶 / 100ml瓶
電子束光阻專用新型顯影液
品名特徵包裝方式顯影液ZED-N60超高解析度寬的工藝余量加侖瓶
ZEP530A
Spin Curve
ZEP530A-6：涂膜厚度為150~300 nm。
超高解析度
ZEP530A解析L/S=18 nm。
它具有廣泛的曝光余量
關鍵詞
Microchem , 光刻 , ZEP530A , 半導體材料ZEP520 , ZEP520A-7
更新時間
- 黃金會員
- 第7年
- 統(tǒng)一社會信用代碼
- 91350206MA31JFKEXH
- 成立日期
- 2018年03月19日
- 法定代表人
- 石進良
- 注冊資本
- 100
主營產(chǎn)品
半導體光刻膠，電子級蝕刻液，顯影液去膠液，半導體化學試劑，UV燈管
經(jīng)營范圍
五金產(chǎn)品批發(fā)；電氣設備批發(fā)；計算機、軟件及輔助設備批發(fā)；通訊及廣播電視設備批發(fā)；非金屬礦及制品批發(fā)（不含危險化學品和監(jiān)控化學品）；金屬及金屬礦批發(fā)（不含危險化學品和監(jiān)控化學品）；建材批發(fā)；化肥批發(fā)；其他化工產(chǎn)品批發(fā)（不含危險化學品和監(jiān)控化學品）；貿(mào)易代理；其他貿(mào)易經(jīng)紀與代理；經(jīng)營各類商品和技術的進出口（不另附進出口商品目錄），但國家限定公司經(jīng)營或禁止進出口的
公司簡介
主營業(yè)務：顯影液、漂洗液、光刻膠、聚酰亞胺、冰箱儲存、化學試劑、國產(chǎn)試劑、半導體材料、電子專用材料、銳材表面活性劑美國PTI粉塵，日本JIS粉塵，德國DMT粉塵，美國AATCC測試用，英國SDC,JAMESH,日本測試用品，理美國PTI公司雜質(zhì)顆粒尺寸分析試驗、檢測設備及各種試驗粉塵。代理德國DMT公司的符合IEC 60312標準的試驗粉塵。 同時，公司還代理進口日本JIS標準試驗粉塵。 滿足國內(nèi)汽車零部件、纖，電子等行業(yè)企業(yè)的實驗室以...
聯(lián)系電話0592-6013840撥打手機15396145919撥打郵箱[email protected]郵件
銷售石進良
地址中國（福建）自由貿(mào)易試驗區(qū)廈門片區(qū)中埔社10190號（注冊地址）