片狀氧化鋁微粉平替FUJIMI PWA15拋光粉用于砷化鎵晶圓CMP處理
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- 品牌
- 海旭磨料
- 型號
- HXTA15
- 產(chǎn)地
- 河南
片狀氧化鋁微粉平替FUJIMIPWA15拋光粉用于砷化鎵晶圓CMP處理
片狀氧化鋁又稱平板狀氧化鋁拋光粉，它的用途是晶圓的拋光研磨表面處理。平板狀氧化鋁其實是一種通過特殊方法進(jìn)行長晶的煅燒氧化鋁。其煅燒溫度問1200度，制成的氧化鋁呈片狀堆積形態(tài)。通過破碎和水洗工藝，將片狀氧化鋁粉進(jìn)行分層，制成氧化鋁純度和清潔度更高，顆粒集中度窄、易分散的片狀氧化鋁微粉。不同的煅燒工藝對片狀氧化鋁的質(zhì)量影響很大，質(zhì)量好的平板狀氧化鋁晶體結(jié)構(gòu)平整，磨削面無凹凸，顆粒致密度高，硬度高，易分散不會團(tuán)聚，因此不會對硅片和晶圓造成損傷。片狀氧化鋁的晶體厚度為2-3um，顆粒直徑3-50um。
片狀氧化鋁微粉/平板狀氧化鋁拋光粉的特點(diǎn)：
1. 海旭磨料生產(chǎn)的片狀氧化鋁對標(biāo)進(jìn)口產(chǎn)品，可以達(dá)到進(jìn)口片狀氧化鋁粉的研磨效果。
2. 晶型平整無棱角，研磨時磨粒于工件之間產(chǎn)生平面滑動效果，不易產(chǎn)生劃痕。
3. 硬度高，磨削力強(qiáng)。片狀氧化鋁具有類似于剛玉的α-Al2O3晶相，適用與大多數(shù)材料的研磨和拋光。
4. 磁性物含量低，清潔度高，粒徑一致性高。
5. 熔點(diǎn)高，機(jī)械強(qiáng)度高，磨削效率高。
6. 顆粒大小可控，3-50微米均可獲得。
7. 顆粒的平整性使片狀氧化鋁粉體易于分散，適合制成研磨劑或研磨液。
8. 耐腐蝕、化學(xué)穩(wěn)定性強(qiáng)、抗氧化性能優(yōu)越，不會于研磨液中的液體介質(zhì)發(fā)生反應(yīng)。
9. 比表面積大，表面活性和附著力由于電熔剛玉。
10. 片狀氧化鋁易于分散，粉體不易團(tuán)聚在晶圓表面造成堆積，影響拋光平整度。
化學(xué)成分：
Al2O3 | ≥99.0% |
SiO2 | ＜0.2 |
Fe2O3 | ＜0.1 |
Na2O | ＜1 |
物理性能：
化學(xué)成分 | α-Al2O3 |
顏色 | 白色 |
比重 | ≥3.9g/cm3 |
莫氏硬度 | 9.0 |
生產(chǎn)規(guī)格：
型號 | D3(um) | D50（um） | D94（um） |
HXTA40 | 39-44.6 | 27.7-31.7 | 18-20 |
HXTA35 | 35.4-39.8 | 23.8-27.2 | 15-17 |
HXTA30 | 28.1-32.3 | 19.2-22.3 | 13.4-15.6 |
HXTA25 | 24.4-28.2 | 16.1-18.7 | 9.6-11.2 |
HXTA20 | 20.9-24.1 | 13.1-15.3 | 8.2-9.8 |
HXTA15 | 14.8-17.2 | 9.4-11 | 5.8-6.8 |
HXTA12 | 11.8-13.8 | 7.6-8.8 | 4.5-5.3 |
HXTA09 | 8.9-10.5 | 5.9-6.9 | 3.3-3.9 |
HXTA05 | 6.6-7.8 | 4.3-5.1 | 2.55-3.05 |
HXTA03 | 4.8-5.6 | 2.8-3.4 | 1.5-2.1 |
用途：
1. 半導(dǎo)體硅晶片、石英晶體、砷化鎵晶體研磨液
2. 光學(xué)玻璃、光電陶瓷研磨
3. 導(dǎo)熱涂料填充
4. 精密油石原材料
5. 拋光砂帶砂紙原料
6. 軟質(zhì)金屬研磨拋光
7. 耐熱耐磨涂層
片狀氧化鋁微粉 , 片狀氧化鋁拋光粉 , 片狀氧化鋁PWA15 , FUJIMI氧化鋁拋光粉 , PWA氧化鋁微粉
電熔剛玉，碳化硅，碳化硼，燒結(jié)剛玉等
生產(chǎn)、制造磨料、磨具，進(jìn)出口業(yè)務(wù)。
鄭州市海旭磨料有限公司位于中國磨料之都——鄭州市，成立于1999年7月，總投資1800余萬元，占地面積11000平方米，擁有鄭州、洛陽、甘肅三處磨料生產(chǎn)及原材料供應(yīng)基地。2010年成立了河南四成貿(mào)易有限公司，主要從事各類磨料及其原材料的進(jìn)出口業(yè)務(wù)。 主營產(chǎn)品有電熔剛玉，碳化硅，碳化硼等磨料，年產(chǎn)量 28000 噸。產(chǎn)品執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)有g(shù)b(國標(biāo)），fepa（歐洲標(biāo)準(zhǔn)），jis（日本標(biāo)準(zhǔn)），p砂（涂附磨具），公司斥巨資引進(jìn)先進(jìn)的生...