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專注于:磁控濺射鍍膜設(shè)備、提供金屬/復(fù)合金屬涂層加工服務(wù)

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純?cè)村兡W⒂冢捍趴貫R射技術(shù)的開發(fā)與升級(jí),實(shí)現(xiàn)設(shè)備持久穩(wěn)定、性價(jià)比極優(yōu)、售后服務(wù)完善的體系。

設(shè)備參數(shù):


  • 設(shè)備介紹:IS系列鍍膜機(jī)是采用本公司成熟的技術(shù):高能離子束清洗(IonbeamCleaning)+磁控濺射源(MagnetronSputtering ),設(shè)備采用全自動(dòng)化控制,模塊化集成優(yōu)化,設(shè)備功率高、穩(wěn)定性能好、操作簡(jiǎn)單且維護(hù)方便。為滿足不同的鍍膜需求,腔室內(nèi)可設(shè)計(jì)配置平面圓形靶、條形靶和圓柱靶等多種靶材,可獲得致密度高、均勻性能好的多層復(fù)合膜,包括各種金屬、電子元器件、鐵磁材料,以及絕緣的氧化物、陶瓷薄膜等;適合研發(fā)及批量鍍膜服務(wù)。

  • 設(shè)備特點(diǎn):

  •      1. 特有的技術(shù),特殊設(shè)計(jì)的磁場(chǎng)及工藝氣路,有效提升靶材利用率以及長(zhǎng)期工藝穩(wěn)定性;

          2.模塊化通用接口,直接兼容不同形式陰極靶材,允許直流脈沖、中頻、射頻工作模式;兼容性強(qiáng)

          3. 自主設(shè)計(jì)的全自動(dòng)智能化工藝操作系統(tǒng),提供全面、便捷的工藝配方編輯及調(diào)用能力,配備實(shí)時(shí)工藝參數(shù)監(jiān)控系統(tǒng),允許在線遠(yuǎn)程控制。

  • 應(yīng)用范圍:

  •   


     1.可鍍Cu、Au、Cr、Ni、Ta、TiN、TiC、TiCN、TiAlN、CrN、 DLC等金屬、非金屬以及氧化物膜層;

     2.可用于液晶顯示、硬質(zhì)耐磨、太陽能電池、材料保護(hù)和防腐、建筑物玻璃、光學(xué)和裝飾膜層、磁光信息存儲(chǔ)、鐵磁材料等各個(gè)領(lǐng)域;

     

    關(guān)鍵詞

    磁控濺射鍍膜設(shè)備 , 金屬涂層 , 復(fù)合金屬涂層

    更新時(shí)間
    黃金會(huì)員
    第3年
    統(tǒng)一社會(huì)信用代碼
    91340100394452746Q
    成立日期
    2014年10月23日
    法定代表人
    張心鳳
    注冊(cè)資本
    800
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    聯(lián)系電話0551-63652293撥打手機(jī)18130098408撥打郵箱[email protected]郵件
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