數(shù)顯測厚規(guī)（千分款）

測量勻膠厚度

量程:0~10mm

精度：0.001mm

公差：≤±0.005mm

顯微鏡

觀察頭：鉸鏈?zhǔn)饺坑^察頭，30°傾斜，瞳距48～75mm

目鏡：超大視野目鏡 10X/22

無xian遠(yuǎn)平場消色差物鏡：4X/0.1，10X/0.25，20X/0.4，40X/0.65

轉(zhuǎn)化器：四孔轉(zhuǎn)換器

載物臺：載物臺面積300×268mm，移動范圍250×250mm

焦距調(diào)節(jié)：同軸粗微動調(diào)焦機(jī)構(gòu)，行程24mm

照明系統(tǒng) ：6V20W鹵素?zé)?，亮度可調(diào)

濾色鏡 藍(lán)色、黃色、綠色、磨砂玻璃片

SU8模具加工平臺旨在為SU8模具加工提供一個gao效、全mian的解決方案，該平臺集成了桌面光刻機(jī)、勻膠機(jī)和熱板等he心設(shè)備。桌面光刻機(jī)，體積小巧，采用LED光源，曝光分辨率可達(dá)2um，曝光均勻性大于90%，可實(shí)現(xiàn)微納結(jié)構(gòu)的精細(xì)制備；勻膠機(jī)，轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性為±0.5%，轉(zhuǎn)速達(dá)10000轉(zhuǎn)，SU8模具加工設(shè)備，可確保光刻膠均勻涂敷，提高一致性；熱板，溫度穩(wěn)定性±1%，可為SU8模具提供充分的烘烤，從而提升SU8模具結(jié)構(gòu)的耐久性和機(jī)械性能。相比傳統(tǒng)加工平臺，設(shè)備體積龐大，環(huán)境要求嚴(yán)苛，SU8模具加工平臺適應(yīng)性強(qiáng)，光刻機(jī)占地面積小，普通實(shí)驗(yàn)室也可輕松部署。SU8模具加工平臺，有利于客戶快速實(shí)現(xiàn)芯片制備，為微流控技術(shù)的推廣和應(yīng)用提供便捷途徑。

3. SU8模具制備流程

備片

從化學(xué)品存放區(qū)取出清潔的硅片（確保硅片表面無塵）。

勻膠

1）打開勻膠機(jī)，將硅片放置在勻膠機(jī)托盤上，打開真空開關(guān)，確保硅片固定在托盤上不動；

將SU8光刻膠滴在硅片中間，根據(jù)光刻膠的厚度和制備要求設(shè)置勻膠機(jī)轉(zhuǎn)速和時間。（舉例說明：目標(biāo)膠厚度50um，光刻膠型號：SU8-2075，1段500轉(zhuǎn)8s，2段1800轉(zhuǎn)30s）

頂旭蘇州微控技術(shù)(多圖)-紹興SU8模具加工設(shè)備由頂旭（蘇州）微控技術(shù)有限公司提供。頂旭（蘇州）微控技術(shù)有限公司是從事“微流控芯片定制，微流控芯片加工設(shè)備，微流控儀器，表面修飾”的企業(yè)，公司秉承“誠信經(jīng)營，用心服務(wù)”的理念，為您提供更好的產(chǎn)品和服務(wù)。歡迎來電咨詢！聯(lián)系人：周經(jīng)理。