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分子泵是氦質(zhì)譜檢漏儀中獲得高真空重要部,是氦質(zhì)譜檢漏儀中不可或缺關(guān)鍵部件,分子泵性能直接影響檢漏儀性能參數(shù)的好壞,分子泵的發(fā)展直接影響著氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)。本文重點討論分子泵轉(zhuǎn)速對氦質(zhì)譜檢漏的影響。2、逆擴散型檢漏儀逆擴散型的檢漏儀的檢漏口是連接到高真空泵與低真空泵之間,所以被檢試件的可檢漏壓力就是高真泵的前級耐壓。如果試件壓力超過這個壓力,將使高真空泵不能正常工作。普通渦輪分子泵的前級耐壓,一般不超過50Pa,遠達不到高壓檢漏的要求。
1980年國際上出現(xiàn)一種稱之為“復(fù)合型”的分子泵,現(xiàn)今,其前級耐壓很高已達2000Pa。這種泵用作氦質(zhì)譜檢漏儀的高真空泵,可直接實現(xiàn)在高的試件壓力下的檢漏。用復(fù)合分子泵構(gòu)成的一種可實現(xiàn)高壓強下的檢漏儀,其工作過程如下。當被檢試件抽至1500Pa,V1開,氨氣逆擴散穿越整個分子泵進入質(zhì)譜室,實現(xiàn)儀器的逆擴散檢漏。
若能進一步將試件抽至200Pa以下,則V2關(guān)閉,V3打開,從泵的中間口逆擴散至質(zhì)譜室,若能進一步將試件抽至40Pa以下,則V3關(guān)閉,V4打開,氦氣從泵的上部逆擴散進入質(zhì)譜室,或直接進入質(zhì)譜室(常規(guī)檢漏)。這種從高壓檢大漏到實現(xiàn)檢微漏的全自動過程,一氣呵成,不僅,也便于漏率的定量,由于每個狀態(tài)下的閥門流導(dǎo)和泵的壓縮比等參數(shù)都是固定不變的,儀器只需1次校準即可。
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許多設(shè)備在工作時都會產(chǎn)生磁場,比如,家用電冰箱的磁場強度約有10高斯(1mT),愛發(fā)科渦輪分子泵技術(shù)支持,MRI()的磁場強度甚至?xí)哌_3T;盡管可以采取屏蔽等措施,仍然可能會有外漏的雜散磁場,對工作在附近的分子泵產(chǎn)生不好的影響。磁場對渦輪分子泵的可能影響當渦輪分子泵的轉(zhuǎn)子在磁場中旋轉(zhuǎn)時,會產(chǎn)生渦流。這些電流傾向于阻礙轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn),并導(dǎo)致電機的功率增大。
由于泵轉(zhuǎn)子不與定子接觸,渦生的熱量和額外的功率主要通過輻射消散。因此,轉(zhuǎn)子可能會過熱,即使泵體及其它靜止的部件仍然是冷的。為了確認磁場對分子泵工作的影響,德國卡爾斯魯厄理工學(xué)院()設(shè)計并執(zhí)行了下面的測試:測試條件和裝置被測分子泵的型號為TwisTorr304FSCFF6,使用一對亥姆霍茲線圈(直徑120厘米)來產(chǎn)生包圍整個泵的均勻磁場。
被測分子泵由一臺渦旋干泵作為前級,分子泵的進氣口壓力抽至1E-3mbar以下(該壓力以下,熱對流幾乎為零,分子泵轉(zhuǎn)子的熱量僅可以通過輻射傳遞出去很小的一部分)。使用20℃的冷卻水對分子泵持續(xù)進行冷卻;分子泵的控制器會自動調(diào)整電機電流,保持轉(zhuǎn)子以恒定轉(zhuǎn)速運行。
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渦輪分子泵應(yīng)用于低溫掃描隧道顯微鏡LT-STM渦輪分子泵應(yīng)用于低溫掃描隧道顯微鏡LTSTM
掃描隧道顯微鏡STM是根據(jù)力學(xué)中的隧道效應(yīng)原理,通過探測固體表面原子中電子的隧道電流來分辨固體表面形貌的新型顯微裝置.低溫掃描隧道顯微鏡LT-STM真空互聯(lián)除了具有納米分析能力外,它還可以在4到300K的溫度范圍內(nèi)對原子和分子進行準確操作.
低溫掃描隧道顯微鏡LT-STM具有很長的LHe保持時間,極低的漂移率和出色的穩(wěn)定性dz
LT-STM系統(tǒng)需要在超高真空環(huán)境中進行研究,對真空度要求及其高,真空可到1E-10mbar,需要用前級泵,分子泵,離子泵,鈦泵等組合使用來達到要求,同時分子泵需要低振動,低噪音,清潔無油確保超高真空的穩(wěn)定性以保證晶體的生長和后期的探測分析.
某搭建LT-STM真空互聯(lián)系統(tǒng)公司,采購5套渦輪分子泵用于給裝置提供超高真空.主要技術(shù)參數(shù)如下:
抽速L/S
N2:260,H2:220,He:255,Ar:255
全轉(zhuǎn)速時氣體流量
mbarl/s
N2:14,H2:>14,He:20,Ar:7
壓縮比
N2:>1X1011,H2:9X105
He:>1X108,Ar:>1X1011
聲壓水平
≤50dBA
很大功率消耗
300W
很大電流
12.5A
安裝方向
任意方向
允許輻射的很大熱功率
2.4W
很大允許磁場
5.5MT
轉(zhuǎn)速±2%
60000min-1
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分子泵控制器,真空分子泵,AE電源,真空油泵,真空系統(tǒng)
機械技術(shù)開發(fā)服務(wù);機械技術(shù)咨詢、交流服務(wù);機械技術(shù)轉(zhuǎn)讓服務(wù);電子、通信與自動控制技術(shù)研究
廣州潽拓光電科技有限公司從事高真空設(shè)備研制、生產(chǎn)、銷售、工程安裝及售后維修服務(wù)于一體的綜合性企業(yè),由從事多年真空系統(tǒng)開發(fā),真空設(shè)備技術(shù)研發(fā),維修工程師,工程師組成的一支技術(shù)實力雄厚,充滿活力的高素質(zhì)團隊。伴著嚴謹?shù)膬?nèi)部項目實施管理,控制制流程,確保每一項真空設(shè)備的工藝技術(shù)先進性和質(zhì)量的優(yōu)佳性、可靠性。主要從事機電自動化,光電存儲媒體,半導(dǎo)體,太陽能電池板等真空鍍膜設(shè)備維修,銷售,設(shè)計,開發(fā)及系統(tǒng)工程,軟件開發(fā),承接等,是leybold,...