陶瓷靶材是指制備成低壓氣相沉積用于制造微電子芯片及其他半導(dǎo)體和電子元器件的高純度、高密度的陶瓷材料。
陶瓷靶材檢測范圍
陶瓷靶材、ITO陶瓷靶材、二硫化鉬陶瓷靶材、摻雜陶瓷靶材、GZO靶材、磷酸鋰陶瓷靶材等。
陶瓷靶材檢測項目
斷面形貌、物相及晶型結(jié)構(gòu)、相對密度和抗彎強度、密實率、形貌分析、X光射線探傷檢測、磁粉探傷、滲透探傷、晶體結(jié)構(gòu)和燒結(jié)缺陷、REACH檢測、化學(xué)純度檢測、無損檢測、表面粗糙度檢測、雜質(zhì)國標檢測、表面缺陷檢測、平整度檢測、XRD檢測、X射線檢測、ICP檢測、金相檢測、雜質(zhì)含量檢測、常規(guī)檢測、第三方檢測、現(xiàn)場檢測等。（具體以客戶實際情況為準）
陶瓷靶材檢測標準（部分）
1、 T/CAS 304-2018 磁控濺射硅靶材及綁定靶材
2、 T/NXCL 004-2021 旋轉(zhuǎn)硅靶材
3、 T/CHBAS 17-2022 靶材用超高純鎢板
4、 GB/T 39159-2020 集成電路用高純銅陶瓷靶材
5、 GB/T 39159-2020 集成電路用高純銅陶瓷靶材
6、 GB/T 38389-2019 氧化銦錫靶材化學(xué)分析方法
7、 DB35/T 1873-2019 熱噴涂旋轉(zhuǎn)硅靶材通用技術(shù)條件
8、 YS/T 837-2012 濺射靶材-背板結(jié)合質(zhì)量超聲波檢驗方法
9、 YS/T 1158.1-2016 銅銦鎵硒靶材化學(xué)分析方法 第1部分：鎵量和銦量的測定電感耦合等離子體原子發(fā)射光譜法
陶瓷靶材檢測流程
1、聯(lián)系客服、溝通檢測需求；
2、根據(jù)實際情況確定樣品遞送流程、上門取樣、送樣、郵寄樣品；
3、對樣品進行初步、獲取樣品的特性以及相關(guān)指標；
4、根據(jù)客戶的需求、根據(jù)檢測經(jīng)驗及標準方法、定制試驗方案；
5、進行試驗、得到試驗數(shù)據(jù)、出具測試報告；
6、完善的售后服務(wù)、可隨時咨詢；
上海復(fù)達檢測是法定第三方檢測機構(gòu)，具有CMA、CNAS等資質(zhì)，陶瓷靶材檢測服務(wù)面向全國，包含上海、北京、天津、沈陽、濟南、南京、蘇州、杭州、寧波、合肥、鄭州、武漢、長沙、廣州、深圳、成都、西安等地區(qū)。
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檢測 分析 測試 鑒定 研發(fā) 第三方檢測 材料檢測 化工檢測 建筑檢測 設(shè)備檢測 生物學(xué)檢測 植物檢測 中藥材檢測 食品檢測 環(huán)境檢測 包裝檢測 運輸鑒定 價值鑒定 司法鑒定 科研鑒定 事故鑒定 成分檢測 性能測試 質(zhì)量檢測 科研測試 實驗代做
一般項目：技術(shù)服務(wù)、技術(shù)開發(fā)、技術(shù)咨詢、技術(shù)交流、技術(shù)轉(zhuǎn)讓、技術(shù)推廣；數(shù)據(jù)處理和存儲支持服務(wù)；大數(shù)據(jù)服務(wù)；數(shù)據(jù)處理服務(wù)；信息系統(tǒng)集成服務(wù)；網(wǎng)絡(luò)技術(shù)服務(wù)；企業(yè)管理咨詢；實驗分析儀器銷售。（除依法須經(jīng)批準的項目外，憑營業(yè)執(zhí)照依法自主開展經(jīng)營活動）許可項目：認證服務(wù)；檢驗檢測服務(wù)。（依法須經(jīng)批準的項目，經(jīng)相關(guān)部門批準后方可開展經(jīng)營活動，具體經(jīng)營項目以相關(guān)部門批準文
上海復(fù)達檢測技術(shù)集團總公司具有CMA、CNAS權(quán)威認證，專注分析、檢測、測試、鑒定、研發(fā)五大服務(wù)領(lǐng)域。分析領(lǐng)域涉及成分分析、配方分析、失效分析、結(jié)構(gòu)解析、方法學(xué)開發(fā)與驗證、原材料質(zhì)控/評價、一致性評價、特色分析等方向；檢測領(lǐng)域涉及理化性能測試、有毒有害物質(zhì)檢測、阻燃性能檢測、可靠性測試等方向；測試領(lǐng)域涉及能譜類、電鏡類、波譜類、色譜類、質(zhì)譜類等方向；鑒定領(lǐng)域涉及機械設(shè)備質(zhì)量鑒定、安全事故鑒定、電子電器鑒定、材料鑒定等方向；研發(fā)領(lǐng)域涉及配...