深冷空分技術(shù)的工藝流程通常包括以下幾個步驟：

首先，將空氣經(jīng)過濾、壓縮、冷卻等處理后，進入制冷系統(tǒng)，冷卻至-165°C以下，使空氣中的水蒸氣、二氧化碳和其他雜質(zhì)凝結(jié)并被去除。

其次，冷卻后的空氣進入分離塔，在塔內(nèi)經(jīng)過多級分離，分別提取出液態(tài)氧、液態(tài)氮和其他惰性氣體，如氬、氦等。分離塔通常采用板式或填料式結(jié)構(gòu)，具有高效、穩(wěn)定、低能耗等特點。