光刻膠又稱光致抗蝕劑，是指通過紫外光、電子束、離子束、X射線等的照射或輻射，其溶解度發(fā)生變化的耐蝕劑刻薄膜材料。

光刻膠檢測(cè)項(xiàng)目

質(zhì)量檢測(cè)、厚度、均勻性、邊緣效應(yīng)、光學(xué)性能、粘度、溶解度、黏度、流動(dòng)性、比重、抗蝕性(刻蝕)、表面張力、耐化學(xué)性、耐熱性、耐光性、粘滯性黏度、粘附性、常規(guī)檢測(cè)、第三方檢測(cè)、現(xiàn)場(chǎng)檢測(cè)等。（具體以客戶實(shí)際情況為準(zhǔn)）

光刻膠檢測(cè)范圍

行光分解型光刻膠、負(fù)性膠光刻膠、正性膠光刻膠、報(bào)告燈光刻膠、研究燈光刻膠、半導(dǎo)體燈光刻膠、正型燈光刻膠、紫外燈光刻膠、去膠劑燈光刻膠、可行性燈光刻膠、光交聯(lián)型光刻膠、含硅光刻膠等。

光刻膠檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)（部分）

1、 IPC MI-660 5.3-1984 干電影光刻膠

2、 T/ICMTIA 5.3-2020 集成電路用ArF光刻膠光刻檢測(cè)方法

3、 T/ICMTIA 5.1-2020 集成電路用 ArF 干式光刻膠

4、 DIN 50455-2:1999-11 半導(dǎo)體技術(shù)材料測(cè)試 光刻膠表征方法 第2部分：正性光刻膠光敏性的測(cè)定

5、 ASTM F581-78(1991)e1 光刻膠加速老化的實(shí)施規(guī)程

6、 T/ICMTIA 5.2-2020 集成電路用ArF浸沒式光刻膠

7、 AIR FORCE A-A-59404-1999 便攜式液壓油型光刻膠配量器

8、 ASTM F907-85(1992)e1 光刻膠旋涂用圓片旋轉(zhuǎn)加速度測(cè)量的試驗(yàn)方法

9、 ASTM F907-85E01R92 光刻膠旋涂用圓片旋轉(zhuǎn)加速度測(cè)量的試驗(yàn)方法

光刻膠檢測(cè)流程

1、聯(lián)系客服、溝通檢測(cè)需求；

2、根據(jù)實(shí)際情況確定樣品遞送流程、上門取樣、送樣、郵寄樣品；

3、對(duì)樣品進(jìn)行初步、獲取樣品的特性以及相關(guān)指標(biāo)；

4、根據(jù)客戶的需求、根據(jù)檢測(cè)經(jīng)驗(yàn)及標(biāo)準(zhǔn)方法、定制試驗(yàn)方案；

5、進(jìn)行試驗(yàn)、得到試驗(yàn)數(shù)據(jù)、出具測(cè)試報(bào)告；

6、完善的售后服務(wù)、可隨時(shí)咨詢；

上海復(fù)達(dá)檢測(cè)是法定第三方檢測(cè)機(jī)構(gòu)，具有CMA、CNAS等資質(zhì)，光刻膠檢測(cè)服務(wù)面向全國，包含上海、北京、天津、沈陽、濟(jì)南、南京、蘇州、杭州、寧波、合肥、鄭州、武漢、長沙、廣州、深圳、成都、西安等地區(qū)。