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圖6為ChemiSEM圖像,顯示的是該區(qū)域所含元素的面分布情況,F(xiàn)e為基體元素,O顯示樣品被氧化的區(qū)域,Cl則是異常元素,需要進一步的研究。AxiaChemiSEM可隱藏部分元素僅顯示感興趣元素,為了即刻確認Cl的分布情況,在本示例中我們只顯示Cl元素的面分布情況。
*圖7 Cl元素的ChemiSEM面分布圖
(加速電壓15 keV 束流0.44 nA 采集時間60 s)
*圖8 ChemiSEM圖像顯示了選區(qū)分析的兩個區(qū)域
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