產(chǎn)品介紹：

1）控制系統(tǒng)由程序電腦主機構成，故障率低，可靠性強，操作簡單，易于維護。

2）切割傳動方式通過直線電機轉(zhuǎn)動，提高設備切割精度。

3）切割馬達采用高精度旋轉(zhuǎn)馬達。

4）切割采用切割頭方式切割。

5）切割Z軸在切割過程中可以自動下移設定距離（可以在程序界面里單獨設定Z軸速度和位移）。

6）可以實現(xiàn)圓切割和好線切割。

7）可以兼容切割8inch(200mm直徑）/12inch(300mm直徑）硅片。

8）加工時有安全窗口觀察設備內(nèi)部的加工情況，安全窗口激光透過率需保證操作人員的安全。

技術參數(shù) ：

技術規(guī)格

加工片子尺寸                             需要換切割載臺                                      8寸、12寸       

切割深度                                  切穿  

激光器功率                               激光器出口出                 W                            50

工作臺承載方式                         大理石  

                                              工作臺行程                    mm                        150

                                              移動量解析度                 mm                       0.001

X軸                                         單步步進量                    mm                       0.001

                                              定位精度                       mm      （單一誤差）0.004以內(nèi)/5

                                              重復精度                       mm                        0.003

                                              工作臺行程                     mm                        150

                                              移動量解析度                  mm                       0.001

Y軸                                         單步步進量                     mm                       0.001

                                              定位精度                        mm      （單一誤差）0.004以內(nèi)/5

                                              重復精度                        mm                        0.003

其他規(guī)格：                               電源                               AC            兩相220-240V50HZ

                                              *大耗電量                     KW                           1.8

                                              壓縮空氣共給壓力             MPa                      0.4-0.8

                                              排風量（工廠自備）         m3/min                       5

                                              設備尺寸（長x寬x高）      mm                

                                              設備重量                         KG                           995

                                              排風口口徑                      mm                         100

應用范圍：

該設備為硅片割圓設備，主要應用于大尺寸硅片切割成小尺寸硅片。