掃描電子顯微鏡SEM分析

掃描電子顯微鏡SEM分析原理：用電子技術(shù)檢測高能電子束與樣品作用時產(chǎn)生二次電子、背散射電子、吸收電子、X射線等并放大成象。譜圖的表示方法：背散射象、二次電子象、吸收電流象、元素的線分布和面分布等。提供的信息：斷口形貌、表面顯微結(jié)構(gòu)、薄膜內(nèi)部的顯微結(jié)構(gòu)、微區(qū)元素分析與定量元素分析等。

掃描電子顯微鏡SEM應(yīng)用范圍：

1、材料表面形貌分析，河北掃描電子顯微鏡，微區(qū)形貌觀察

2、各種材料形狀、大小、表面、斷面、粒徑分布分析

3、各種薄膜樣品表面形貌觀察、薄膜粗糙度及膜厚分析

掃描電子顯微鏡樣品制備比透射電鏡樣品制備簡單，不需要包埋和切片。

掃描電鏡噴金工藝在樣品表面形成薄膜有多種方法

掃描電鏡噴金工藝

在樣品表面形成薄膜有多種方法，對于sem掃描電鏡和X射線顯微分析，只有熱蒸發(fā)和離子濺射鍍膜實用。

蒸發(fā)鍍膜：許多金屬和無機(jī)絕緣體在真空中被某種方法加熱，當(dāng)溫度足夠高，蒸發(fā)氣壓達(dá)到1.3Pa以上時，就會迅速蒸發(fā)為單原子。

優(yōu)點：可提供碳和多種金屬的鍍層，鍍層精細(xì)均勻，適合非常粗糙的樣品，高分辨研究?？梢試娞迹欣趯悠分蟹翘荚氐哪茏V分析。非導(dǎo)電樣品觀察背散射電子圖像，進(jìn)行EBSD分析，掃描電子顯微鏡生產(chǎn)，也應(yīng)該噴碳處理。

價錢便宜使用普遍的是鎢燈絲，以熱游離(Thermionization) 式來發(fā)射電子，電子能量散布為 2eV，鎢的功函數(shù)約為4.5eV，鎢燈絲系一直徑約100μm，彎曲成V形的細(xì)線，操作溫度約2700K，電流密度為1.75A/cm2，在使用中燈絲的直徑隨著鎢絲的蒸發(fā)變小，使用壽命約為40~80小時。

六硼化鑭(LaB6)燈絲的功函數(shù)為2.4eV，較鎢絲為低，因此同樣的電流密度，天津掃描電子顯微鏡，使用LaB6只要在1500K即可達(dá)到，而且亮度更高，因此使用壽命便比鎢絲高出許多，電子能量散布為1eV，掃描電子顯微鏡銷售，比鎢絲要好。但因LaB6在加熱時活性很強(qiáng)，所以必須在較好的真空環(huán)境下操作，因此儀器的購置費用較高。

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