三英精控（天津）儀器設備有限公司是一家專注于精密運動控制技術和產(chǎn)品的開發(fā)，并致力于為科學研究、創(chuàng)新研發(fā)及精密儀器、設備的制造等提供系統(tǒng)的技術解決方案與集成，滿足市場對精密運動控制技術需求的專業(yè)制造商。
公司核心技術集精密傳感、精密驅動、精密機械、精密控制、精密集成等各領域的技術于一體，綜合技術指標已達到先進水平。
主要產(chǎn)品：納米級運動平臺系列；微米級宏動系列；納米位移電容傳感器系列；宏微運動集成系統(tǒng)
納米定位平臺
納米運動控制技術是由光、機、電、控制軟件等多領域技術集成的運動控制技術。內部由一個或多個壓電陶瓷作為驅動，其產(chǎn)生單軸或者多軸的運動；通過柔性鉸鏈技術將壓電陶瓷產(chǎn)生的運動傳遞和放大；經(jīng)超精密電容傳感器將運動信息傳遞給控制系統(tǒng)，再由控制系統(tǒng)對該運動進行修正、補償和控制；在對運動系統(tǒng)進行閉環(huán)控制時，可實現(xiàn)納米、亞納米級別的運動分辨率和運動控制精度。
三英精控納米臺特點
平：得益于獨特的硬件設計，有效地減少三維偶聯(lián)影響，保證納米臺全行程的平整度。
準：電容傳感器的應用及先進的控制模式和算法，保證納米臺的運動精度。
穩(wěn)：優(yōu)異的機械結構設計以及優(yōu)良的電容傳感器特性，保證了納米臺長時間的穩(wěn)定性。
NS-Z100-01重載Z軸物鏡定位臺
典型應用：
顯微成像
晶圓切割
微電子精密加工
物鏡調焦及掃描
可更換不同的物鏡接口
技術參數(shù)：
型號 | NS-Z100-01 |
運動軸 | Z |
傳感器類型 | 電容式 |
閉環(huán)行程( μm) | 100 |
閉環(huán)分辨率( nm ) | 0.5 |
線性度( % ) | 0.05 |
無負載下諧振頻率( Hz ) | 800 |
端口 | D-sub15 |
材料 | 鋁合金 |
Zui大負載( kg ) | 2 |
自重( kg ) | 0.28 |
尺寸( mm ) | Φ65.5 x 52.5 |
適配控制器 | SC100-A/SC300-1/SC400-1 |
注：閉環(huán)分辨率與帶寬有關。
如有客戶需求，三英精控可以對納米位移運動控制系統(tǒng)進行量身定制，以提供及時、滿意的技術支持與服務。
納米運動控制平臺，高精度電移臺，精密旋轉臺，六維納米定位平臺
儀器設備、機械設備、電子產(chǎn)品、電氣設備設計、加工、制造、銷售，機械設備技術開發(fā)、咨詢、轉讓、服務，貨物及技術進出口，軟件開發(fā)與經(jīng)營。（依法須經(jīng)批準的項目，經(jīng)相關部門批準后方可開展經(jīng)營活動）
三英精控（天津）儀器設備有限公司是一家專注于精密運動控制技術和產(chǎn)品的開發(fā)，并致力于為科學研究、創(chuàng)新研發(fā)及高端儀器、設備的制造等提供系統(tǒng)的技術解決方案與集成，滿足市場對精密運動控制技術需求的專業(yè)制造商。三英精控（天津）儀器設備有限公司秉承“高端創(chuàng)新、精益制造”的宗旨和“打造中國高端制造的國際品牌”的目標，為中國制造裝備產(chǎn)業(yè)升級、轉型提供關鍵技術和打造堅實基礎，助力“中國制造2025”。三英精控（天津）儀器設備有限公司在納米運動控制技術方面...