在對精密工件表面質量高要求的如納米材料、航空航天、半導體等領域中，現(xiàn)有的接觸式測量方法具有測量速度慢、易劃傷測量表面的缺點，而單一的光學非接觸測量方法難以完成對大面形或曲率較大的高反射曲面零件三維形貌的高精度測量，只有3d光學輪廓儀才能達到微型范圍內重點部位的納米級粗糙度、輪廓等參數的測量。

白光干涉儀屬于精度高達到亞納米級別的檢測儀器，對使用的現(xiàn)場環(huán)境（地面振動、空氣中聲波振動）比較敏感，因此中圖3d光學輪廓儀品牌儀器底下都是加了氣浮平臺進行隔振的。

中圖3d光學輪廓儀重復性0.1%，分辨率0.1μm，操作簡便，應用領域廣泛，可自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數。

產品特點：雙重防撞保護措施

（1）軟件防撞保護ZSTOP

即在Z軸上設置停止位，設置位置到樣品表面的距離小于鏡頭的工作距離，當鏡頭運動到該位置時，就立刻停止不再向下運動，起到保護樣品和鏡頭的作用。

（2）Z軸硬件防撞傳感器

在鏡頭的上方安裝有機械防撞傳感器，當鏡頭向下位移與樣品表面直接接觸時，觸發(fā)感應器，鏡頭與樣品表面變?yōu)檐浗佑|，并觸發(fā)緊急停止開關，不再響應向下位移的指令，避免鏡頭和樣品的損傷，雙重防護，守護設備和產品，也守護每一分價值和信任。