聚對二甲苯是由Specialty Coating Systems( Indianpolis,IL)公司提供的標記聚對二甲苯基家族聚合物的一種化學名稱，是初發(fā)明聚對二甲苯的UnionCarbide公司認可的命名。商業(yè)上存在一些聚對二甲苯的替代物，它們的成分和聚對二甲苯一致，只是在合成路徑上因初始二聚體(對二甲苯二聚物)而有不同。然而，Spe-cialtyCoatingSystems版本是當前被美國食品及藥物管理局(FDA)所批準的版本。聚對二甲苯是一種USP(UnitedStatesPharmacopeia,美國藥典)VI族材料，適合長期植入人體，所以是在醫(yī)療產(chǎn)業(yè)歷史上十分有名的生物相容涂層材料?？梢詮暮芏喾矫鏅z查其生物相容性，它的生物穩(wěn)定性、低細胞毒性和抗水解性是其在醫(yī)療產(chǎn)業(yè)被廣泛應用的關鍵屬性。

聚對二甲苯是由Swarc在1947年合成的，但是由于要開發(fā)一種合適的淀積工藝延緩了它進人商業(yè)化的時間，直到1965年才被應用。其關鍵的工藝發(fā)明人是UnionCarbide公司的Gorham，他主要的貢獻包括開發(fā)一種穩(wěn)定的二聚體前體和氣相淀積聚合工藝。超過20種聚對二甲苯被合成出來，但是只有4種(N,C,D和HT型)是可用的，另外2種可供使用的是diXA和AM(日本Kishi-motoSangyo公司)。

聚對二甲苯的物理氣相淀積是在真空腔中實施的，進入氣化室時呈顆粒狀。以C型聚對二甲苯為標準，溫度逐漸升高到150%C，這是二聚體的初始溫度。接著，聚對二甲苯被熱解使其二聚體裂成單自由基對二甲苯(650℃)。在淀積室內(nèi)(25℃)，單體聚集到所有裸露面上，以約5μm/h的速率聚合成C型聚對二甲苯。*近研制出一種通過在淀積室改進樣品添加裝置來直接淀積聚對二甲苯為納米結構薄膜的工藝。

聚對二甲苯化學性質(zhì)不活潑，表面涂層保形，而且是一種很好的聚合物絕緣層。歷史上，它被用作醫(yī)用涂料、植入式神經(jīng)絲探針的絕緣層、層間電介質(zhì)，并且在1997進入MEMS領域，成為流體互連的涂層材料。聚對二甲苯因其淀積方式(真空中)、無針孔淀積、低加工溫度、透明度和微加工工藝的兼容性成為一種流行的標準MEMS材料。自其進人MEMS領域以來，已被開發(fā)成各種各樣MEMS應用中的結構材料。聚對二甲苯的碳化/裂化和離子注入工藝也被應用于MEMS中作為犧牲或傳感材料。聚對二甲苯結構的進一步改進已經(jīng)在研究中，特別是在生物學和生物醫(yī)學應用方面。

在MEMS應用中，聚對苯薄膜表現(xiàn)出一些非常有用的特性。這些特性包括：非常低的內(nèi)應力、可以在室溫下淀積、保角涂覆、化學惰性以及刻蝕選擇性。聚對二甲苯膜用作電絕緣層、化學防護層、保護層和密封層是十分理想的。聚對二甲苯已用來做微流控溝道、閥門和傳感器(加速度傳感器，壓力傳感器，麥克風和切應力傳感器)。通常采用控制二聚物的量來調(diào)控聚對二甲苯覆蓋層的厚度。在原位探測聚對二甲苯厚度的監(jiān)控器與末端探測器已經(jīng)研制出來。