真空蒸鍍室：不銹鋼制造，立式前開門，外壁通冷卻水，內(nèi)襯不銹鋼防污板
真空系統(tǒng)：可選擴(kuò)散泵系統(tǒng)、渦輪分子泵系統(tǒng)或低溫泵系統(tǒng)
蒸發(fā)源：有電阻加熱蒸發(fā)源或電子束蒸發(fā)源
工件烘烤：可選碘鎢燈加熱、電阻絲加熱或管狀加熱器；方式有上往下烘烤或下往上烘烤
工轉(zhuǎn)裝置：有上驅(qū)動(dòng)或下驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)；密封可采用普通或磁流體密封
工件架：可選球面帽形、扇形、行星式、翻轉(zhuǎn)式、平面夾具等形式
光學(xué)膜厚控制系統(tǒng)：由光路、光源、單色儀、、光學(xué)膜厚監(jiān)控儀、比較片機(jī)構(gòu)等組成
晶體振蕩膜厚控制系統(tǒng)：晶體膜厚監(jiān)控儀、石英傳感器等
充氣系統(tǒng)：壓力控制、氣體質(zhì)量流量控制
電氣控制系統(tǒng)：大板結(jié)構(gòu)、模塊設(shè)計(jì)、進(jìn)口器件；可靠性高、易操作、易維護(hù)
離子輔助鍍：可選配國產(chǎn)或進(jìn)口離子源提高成膜特性